光電儀器系統(tǒng)復(fù)習(xí) 2013

1、1復(fù)習(xí)2013一章緒論一章緒論1光電系統(tǒng)，光電檢測(cè)系統(tǒng)的特點(diǎn)、實(shí)例（光盤(pán)機(jī)、光刻機(jī)等）光電系統(tǒng)，光電檢測(cè)系統(tǒng)的特點(diǎn)、實(shí)例（光盤(pán)機(jī)、光刻機(jī)等）2技術(shù)指標(biāo)技術(shù)指標(biāo)測(cè)量范圍，示值范圍，放大倍數(shù)測(cè)量范圍，示值范圍，放大倍數(shù)3基本組成（基本組成（8個(gè)部分）個(gè)部分）二章二章光電檢測(cè)的基本原則（光電檢測(cè)的基本原則（9個(gè)基本原則）個(gè)基本原則）重點(diǎn)重點(diǎn)：阿貝原則阿貝原則(要串聯(lián)要串聯(lián)不要并聯(lián)不要并聯(lián))及計(jì)算及計(jì)算艾賓斯坦原理艾賓斯坦原理三章三章光電檢測(cè)儀

2、器的精度理論光電檢測(cè)儀器的精度理論1誤差分類(lèi)誤差分類(lèi)按數(shù)學(xué)特征分按數(shù)學(xué)特征分:系統(tǒng)誤差、偶然誤差系統(tǒng)誤差、偶然誤差(隨機(jī)隨機(jī))四章四章光電瞄準(zhǔn)（橫向瞄準(zhǔn)）光電瞄準(zhǔn)（橫向瞄準(zhǔn)）1瞄準(zhǔn)誤差瞄準(zhǔn)誤差2分類(lèi)分類(lèi)3.3.光學(xué)瞄準(zhǔn)法光學(xué)瞄準(zhǔn)法對(duì)線法（角誤差對(duì)線法（角誤差α）、重合法（對(duì)徑讀數(shù)）、重合法（對(duì)徑讀數(shù)）、雙象法、互補(bǔ)色、雙象法、互補(bǔ)色法、反射法。法、反射法。4激光掃描式光電自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)（光刻機(jī)）激光掃描式光電自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)（光刻機(jī)）3絕對(duì)式編碼器、

3、絕對(duì)式編碼器、容量和分辨率、容量和分辨率、循環(huán)碼與二進(jìn)制碼互換、循環(huán)碼與二進(jìn)制碼互換、電路圖路圖八章八章光電傳感器及其應(yīng)用光電傳感器及其應(yīng)用1傳感器的一般特性傳感器的一般特性靜態(tài)特性：線性度、靈敏度、遲滯、重復(fù)性靜態(tài)特性：線性度、靈敏度、遲滯、重復(fù)性動(dòng)態(tài)特性動(dòng)態(tài)特性2CCD工作原理、工作原理、CCD驅(qū)動(dòng)電路驅(qū)動(dòng)電路CCD的七個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域的七個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域CCD用于尺寸測(cè)量（微小尺寸的檢測(cè)用于尺寸測(cè)量（微小尺寸的檢測(cè)、小尺寸的檢測(cè)、大尺、小尺寸

4、的檢測(cè)、大尺寸檢測(cè)）寸檢測(cè)）CCD用于光譜測(cè)量（光柵式、棱鏡式）用于光譜測(cè)量（光柵式、棱鏡式）十一章十一章激光干涉、衍射測(cè)量系統(tǒng)激光干涉、衍射測(cè)量系統(tǒng)一.干涉基本原理干涉基本原理1.原理原理1）計(jì)量厚度或位移的變化）計(jì)量厚度或位移的變化干涉條紋是以干涉條紋是以λ2為單位的為單位的:Δh=?(2n)2）條紋的形狀隨兩出瞳位置的變化關(guān)系）條紋的形狀隨兩出瞳位置的變化關(guān)系——用于測(cè)面形及測(cè)長(zhǎng)用于測(cè)面形及測(cè)長(zhǎng)2.干涉的兩個(gè)問(wèn)題：干涉的兩個(gè)問(wèn)題：