分子泵原理

1、第3講真空獲得真空獲得⑴張振厚張振厚李云奇李云奇3.1概述3.1.1真空的獲得方法人們通常把能夠從密閉容器中排出氣體或使容器中的氣體分子數(shù)目不斷減少的設備稱為真空獲得設備或真空泵。目前在真空技術中，采用各種不同的方法，已經(jīng)能夠獲得和測量從大氣壓力105Pa到1013Pa，寬達18個數(shù)量級的壓力范圍。顯然，只用一種真空泵，獲得這樣寬的低壓空間的氣體狀態(tài)，是十分困難的。在真空獲得技術中，目前用以獲得真空的技術方法有兩種，一種是通過某此機構的

2、運動把氣體直接從密閉容器中排出；另一種是通過物理、化學等方法將氣體分子吸附或冷凝在低溫表面上。利用這兩種方法所制造的各種真空泵種類較多，分類方法各異，但是，最常用的方法還是按泵的工作原理或其結構特點加以分類。這一點，我們將在下一節(jié)中介紹。3.1.2真空泵的分類按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體傳輸泵和氣體捕集泵。隨著真空應用技術在生產(chǎn)和科學研究領域中對其應用壓強范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系

3、統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產(chǎn)和科學研始終接觸，此旋片隨轉子一起旋轉，可將泵腔分成幾個可變?nèi)莘e。b）滑閥式真空泵：在偏心轉子外部裝有一個滑閥，轉子旋轉帶動滑閥沿泵殼內(nèi)壁滑動和滾動，滑閥上部的滑閥桿能在可擺動的滑閥導軌中滑動，而把泵腔分成兩個可變?nèi)莘e。c）定片式真空泵：在泵殼內(nèi)裝有一個與泵內(nèi)表面靠近的偏心轉子，泵殼上裝有一個始終與轉子表面接觸的徑向滑片，當轉子旋轉時，滑片能上、下滑動將泵腔分成兩個可變?nèi)莘e。d）余擺線式真空泵：在泵腔內(nèi)偏心裝有一

4、個型線為余擺線的轉子，它沿泵腔內(nèi)壁轉動并將泵腔分成兩個可變?nèi)莘e。e）多室旋片式真空泵：在一個泵殼內(nèi)并聯(lián)裝有由同一個電動機驅動的多個獨立工作室的旋片真空泵。②干式真空泵：它是一種不用油類（或液體）密封的變?nèi)菡婵毡?。③液環(huán)式真空泵：帶有多葉片的轉子偏心裝在泵殼內(nèi)，當它旋轉時，把液體（通常為水或油）拋向泵殼形成泵殼同心的液環(huán)，液環(huán)同轉子葉片形成了容積周期變化的幾個小容積，故亦稱旋轉變?nèi)菡婵毡谩＂芰_茨真空泵：泵內(nèi)裝有兩個相反方向同步旋轉的雙葉形