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1、2.2各類金屬化孔互連制造此次研究,根據(jù)設(shè)計(jì)層間互連要求,需進(jìn)行多次金屬化孔的制造,其中還涉及到盲孔、背靠背互連盲孔的金屬化孔制作。具體措施如下:2.2.1金屬化孔制作鑒于RTduroid6002微波介質(zhì)多層板的特點(diǎn)(含有PTFE),采用等離子處理新技術(shù),隨后進(jìn)行孔金屬化處理。評判:可通過多層板制作的附連板圖形,制作金相切片,進(jìn)行可靠性測試,檢驗(yàn)其可靠性。2.2.2盲孔制作鑒于此次設(shè)計(jì)中,提出了金屬化盲孔制造的要求,必須通過多次層壓制作
2、才能實(shí)現(xiàn)。具體為:(1)通孔金屬化孔制作;(2)多次層壓制作。2.2.3背靠背互連盲孔制作鑒于此次設(shè)計(jì)中,提出了背靠背互連盲孔制造的要求,必須通過設(shè)計(jì)層次的層壓制作、金屬化孔制作、反鉆孔制作才能實(shí)現(xiàn)。具體為:(1)層壓制作;(2)通孔金屬化孔制作;(3)反鉆孔制作:反鉆孔制作,是借鑒于國外先進(jìn)印制板制造技術(shù)?!胺淬@孔技術(shù)”的運(yùn)用,是在前期金屬化孔制造的基礎(chǔ)上,通過反鉆孔控制深度的技術(shù),來實(shí)現(xiàn)局部盲孔互聯(lián)。具體措施如下:①選用可控制鉆深的
3、數(shù)控鉆床進(jìn)行反鉆孔制作。②模版制作時,設(shè)計(jì)出3Φ300.03定位孔,中心對稱;印制板正反面設(shè)計(jì)出反鉆孔定位零位直角座標(biāo);生成反鉆孔位置座標(biāo)。③利用FR4多層板進(jìn)行初步反鉆孔研究。④利用RTduroid6002非電阻微波介質(zhì)板制作多層板,進(jìn)行進(jìn)一步反鉆孔研究。⑤制作金相切片,評判反鉆深度。3多層印制板反鉆孔技術(shù)研究3.1試驗(yàn)過程簡述(1)借助FR4單片(0.5mm)四張,層壓成8層板;(2)數(shù)控鉆孔;位置4(右下部)終點(diǎn)終點(diǎn)起點(diǎn)起點(diǎn)單位值
4、單位值實(shí)際值(實(shí)際值(mmmm)內(nèi)層銅箔厚度內(nèi)層銅箔厚度324311130.0325介質(zhì)層厚度介質(zhì)層厚度5053241810.4525反鉆孔深度反鉆孔深度5113171940.485位置5(中心部)終點(diǎn)終點(diǎn)起點(diǎn)起點(diǎn)單位值單位值實(shí)際值(實(shí)際值(mmmm)內(nèi)層銅箔厚度內(nèi)層銅箔厚度341328130.0325介質(zhì)層厚度介質(zhì)層厚度5183411770.4425反鉆孔深度反鉆孔深度5273351920.483.2.2兩面反鉆孔(正面811、反面8
5、81)3.2.2.1正面反鉆孔(811)位置1(左上部)終點(diǎn)終點(diǎn)起點(diǎn)起點(diǎn)單位值單位值實(shí)際值(實(shí)際值(mmmm)內(nèi)層銅箔厚度內(nèi)層銅箔厚度327313140.035介質(zhì)層厚度介質(zhì)層厚度4973271700.425反鉆孔深度反鉆孔深度5023201820.455位置2(左下部)終點(diǎn)終點(diǎn)起點(diǎn)起點(diǎn)單位值單位值實(shí)際值(實(shí)際值(mmmm)內(nèi)層銅箔厚度內(nèi)層銅箔厚度324311130.0325介質(zhì)層厚度介質(zhì)層厚度5023241780.445反鉆孔深度反鉆
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