電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范

1、《電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》3.2.5單向流和混合流潔凈室（區(qū)）的的噪聲級（空態(tài)）不應大于65dB（A），非單向流潔凈室（區(qū)）的噪聲級（空態(tài)）不應大于60dB（A）。4.3.31按火災危險性分類，甲、乙類的房間與相鄰的生產(chǎn)區(qū)段或房間之間，或有防火分隔要求時，應設隔墻；5.4.2物料凈化用室與潔凈室（區(qū)）之間應設置氣閘室或傳遞窗。5.5.6潔凈室（區(qū)）內設置真空泵時，應符合下列規(guī)定：1使用油潤滑的真空泵應設置除油裝置，除油后尾氣應排入排

2、氣系統(tǒng)；2對傳輸含有可燃氣體的真空泵，可燃氣體濃度超過爆炸下限的20%時，應設尾氣處理裝置，在排入排氣系統(tǒng)前應去除或稀釋可燃氣體組分；3傳輸易燃、自燃化學品或高濃度氧氣的真空泵，應采用不燃泵油，并應配置氮氣吹掃。氮氣吹掃控制閥應與生產(chǎn)工藝設備操作系統(tǒng)聯(lián)鎖。6.2.1潔凈廠房的耐火等級不應低于二級。6.2.6在綜合性廠房的一個防火分區(qū)內，凈生產(chǎn)區(qū)域與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應設置不燃燒體隔斷設施。不燃燒體隔斷設施應符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設計

3、規(guī)范》GB50073的有關規(guī)定。6.2.7潔凈廠房的安全出口的設置，應符合下列規(guī)定1每一生產(chǎn)層、每個防火分區(qū)或每一潔凈室的安全出口數(shù)目應符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設計規(guī)范》GB50073的有關規(guī)定2安全出口應分散布置并應設有明顯的疏散標志安全疏散距離應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB50016的有關規(guī)定。安全疏散用門應向疏散方向開啟并應設觀察玻璃窗3丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房在關鍵生產(chǎn)設備自帶火災報警和滅火裝置以及回風氣流中設

4、有靈敏度嚴于0.01%obsm的高靈敏度早期火災報警探測系統(tǒng)后安全疏散距離可按工藝需要確定但不得大于本條第2款規(guī)定的安全疏散距離的1.5倍。注：對于玻璃基板尺寸大于1500mm1850mm的TFTLCD廠房，且潔凈生產(chǎn)區(qū)人員密度小于0.02人㎡，其疏散距離應按工藝需要確定，但不得大于120m。6.2.8潔凈廠房的潔凈區(qū)各層外墻應設置專用消防口，并應符合下列規(guī)定：1潔凈區(qū)各層專用消防口的設計，應符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設計規(guī)范》GB50

5、073的有關規(guī)定；2潔凈廠房外墻上的吊門、電控自動門以及裝有柵欄的窗，均不應作為專用消防口。6.2.9潔凈廠房內有爆炸危險的房間應靠建筑外墻布置，且不得與疏散安全口（樓梯間）貼鄰。有爆炸危險的房間的防爆措施、泄爆面積等應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB50016的有關規(guī)定。6.3.1潔凈廠房的建筑圍護結構和室內裝修，應選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對電子產(chǎn)品品質有影響物質

6、的材料。裝修材料的燃燒性能應符合現(xiàn)行國家標準《建筑內部裝修設計防火規(guī)范》GB50222的有關規(guī)定。裝修材料的煙密度等級不應大于50，材料的煙密度等級應符合現(xiàn)行國家標準《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗方法》GBT8627的有關規(guī)定。7.1.6潔凈室（區(qū)）與周圍的空間應保持一定的靜壓差，靜壓差應符合下列規(guī)定：1各潔凈室（區(qū)）與周圍空間的靜壓差應按生產(chǎn)工藝要求確定；2不同等級的潔凈室（區(qū)）之間的靜壓差應大于等于5Pa；3潔凈室（區(qū)）與非潔

7、凈室（區(qū)）之間的靜壓差應大于5Pa；10.1.6可燃氣體管道和有毒氣體管道不得穿過不使用此類氣體的房間；當必須穿過時應設套管或雙層管。10.1.72不得出現(xiàn)不易吹除的“盲管”等死空間；3管道系統(tǒng)應設置吹掃口和取樣口。10.1.81可燃氣體管道設置閥門時應設置閥門箱，閥門箱應設置氣體泄漏報警和事故排風裝，報警裝置應與相應的事故排風機聯(lián)鎖；3引至室外的放散管，應設置防雷保護設施；4應設置導除靜電的接地設施。10.2.5氣體純化間（站）或氣

8、體入口室內，設有氫氣等可燃氣體純化裝置或管道時，氣體純化間（站）或氣體入口室的火災危險性應按甲類確定，并應符合下列規(guī)定：1應靠外墻設置，并應設置防爆泄壓設施；2氫氣等可燃氣體引入管道上應設置自動切斷閥；3應具有良好的自然通風，并應設置事故排風裝置；4應設置氣體泄漏報警裝置，并應與事故排風裝置聯(lián)鎖；5應設置導除靜電的接地設施。10.2.6潔凈廠房內的氧氣管道等，應采取下列安全技術措施：1管道及閥門附件應經(jīng)嚴格的脫脂處理；2應設置導除靜電的

9、接地設施；3氧氣引入管道上應設置自動切斷閥。10.4.2潔凈廠房內的特種氣體的儲存分配間應采用耐火極限不低于2.0h不燃燒體的隔墻與潔凈室（區(qū)）分隔，隔墻上的門窗應為甲級防火門窗。10.4.31特種氣體鋼瓶（含硅烷或硅烷混合物）應設置在具有連續(xù)機械排風的特氣柜中；2排風機、泄漏報警、自動切斷閥均應設置應急電源；3一個特氣分配系統(tǒng)供多臺生產(chǎn)設備使用時，應設置多路閥門箱；10.4.5硅烷或硅烷混合物的氣瓶應存放在潔凈廠房建筑外的儲存區(qū)內。儲

10、存區(qū)的設置應符合下列規(guī)定：1儲存區(qū)應至少三面敞開，氣瓶應固定在鋼制框架上；2氣瓶或氣瓶組與周圍的構筑物或圍欄的間距應大于3.0m；3儲存區(qū)頂棚的高度應大于3.5m。11.2.11化學品儲存間（區(qū)）的儲量不應超過該化學品24h的消耗量；2化學品應按物化特性分類儲存；當物化性質不容許同庫儲存時，應采用實體墻分隔；3危險化學品應儲存在單獨的儲存間或儲存分配間內，與相鄰房間應采用耐火極限大于1.50h的隔墻分隔；5各類化學品儲存、分配間應設置機