真空原理

1、1真空原理基本介紹一、真空之定義與分類1.定義真空之英文為”Vacuum”，表示空無一物，若更進(jìn)一步說明，則指在某一特定空間中不存在任何物質(zhì)。事實(shí)上這種情形並不存在，即便在外太空物質(zhì)分佈最稀薄的地方，也還存在有若干氣體分子、粒子等。在真空技術(shù)裏，真空係針對大氣而言，表示一特定空間內(nèi)的部份氣體被排出，其壓力小於一大氣壓，通常稱此空間為真空或真狀態(tài)。2.分類真空技術(shù)中，將真空依壓力大小分為四個區(qū)域，各真空壓力範(fàn)圍內(nèi)之特徵如表一：以20℃之空

2、氣為例。大氣真空▲大氣與真空狀態(tài)下之分子數(shù)目3二、真空中之氣體性質(zhì)及定律1.氣體分子密度（Moleculardensity，n），單位：分子數(shù)／cm3定義：依據(jù)氣體動力論之結(jié)果可知在單位體積內(nèi)之氣體分子數(shù)目與壓力及溫度有關(guān)。壓力愈低，分子數(shù)目愈少。公式：P＝nkTP：壓力（tr）n：分子數(shù)／cm3（9.6561018）k：玻爾茲曼常數(shù)T：氣體溫度（oK）2.氣體分子運(yùn)動速度（Molecularvelocity），單位：cm／sec公式：

3、由氣體分子之平均動能為E＝＝mv2，可得出KT2321氣體分子平均速度VAV＝mKT?83.氣體分子平均自由徑（Meanfreepath，λ），單位：cm定義：氣體分子與其它氣體分子連續(xù)兩次碰撞間所運(yùn)動距離之平均值。在真空技術(shù)應(yīng)用中，分子平均自由徑的大小是氣體分子對真空中運(yùn)動料子干擾程度的衡量標(biāo)準(zhǔn)。公式：λ＝＝2.331020T／Pdo2（cm）2021nd?T：溫度（oK）P：壓力（tr）do：距離之平均值（cm）在室溫時，λ＝cm（

4、P：tr）P3105??由此得知，溫度固定時，平均自由徑與壓力成反比。4.入射碰撞率（Impingementrate，ZA），單位：分子數(shù)／cm2／sec定義：氣體分子每秒鐘之時間內(nèi)與其他氣體分子之平均碰撞次數(shù)。其與當(dāng)時之壓力及分子速度成正比。公式：ZA＝（分子數(shù)／cm2／sec）2122110513.34）（＝MTPnVav?5.器壁單層膜形成時間（Monolayerfmationtime，τ），單位：sec定義：若器壁原先並無氣體沈