硅片-石英片-玻璃片-玻璃器皿的標準清洗流程

1、標準清洗流程標準清洗流程1標準硅片清洗流程：標準硅片清洗流程：（1）丙酮溶液超聲3－5分鐘，無水乙醇超聲3－5分鐘，前后反復兩遍，后用熱、冷去離子水沖洗；（2）用HF溶液（HF:H2O）泡30秒，沖去離子水15分鐘；（3）用I號洗液(NH4OH:H202:H20)先把去離子水加熱至85C，倒入NH4OH和H202，放入晶片，在燒杯中煮15分鐘，后用去離子水沖6－7遍；（4）用稀釋HF溶液（HF:H2O）泡30秒，沖熱去離子水15分鐘；（

2、5）用II號洗液(HCl:H202:H20)先把去離子水加熱至85C，倒入HCl和H202，放入晶片，在燒杯中煮15分鐘，后沖熱去離子水15分鐘，沖冷去離子水5分鐘；（6）吹干后，烘干備用。2標準玻璃片清洗流程：標準玻璃片清洗流程：（1）用有機混合溶液（丙酮：無水乙醇）浸泡拋光片，浸泡時間6小時以上；（2）拋光片在此有機混合溶液中超聲10分鐘；（3）丙酮溶液超聲10分鐘，無水乙醇超聲10分鐘，后用熱、冷去離子水沖洗；（4）吹干后烘干；（

3、5）浸泡在混合溶液(K2CrO7:H2SO4:H2O)16小時以上，后沖熱去離子水15分鐘，沖冷去離子水5分鐘；5硅片鍵合前清洗：硅片鍵合前清洗：（1）用I號洗液(NH4OH:H202:H20)先把去離子水加熱至85C，倒入NH4OH和H202，放入晶片，在燒杯中煮15分鐘，后用去離子水沖6－7遍；（2）用II號洗液(HCl:H202:H20)先把去離子水加熱至85C，然后倒入HCL和H202，放入晶片，在燒杯中煮15分鐘，后沖熱去離子

4、水15分鐘，沖冷去離子水5分鐘；（3）用III號洗液(H2SO4：H202)先加入H202，后緩慢倒入濃H2SO4，反應溫度在120C左右，在燒杯中煮20分鐘，后沖熱去離子水15分鐘，沖冷去離子水5分鐘；（4）吹干后，烘干備用。6.6.玻璃器皿清洗：玻璃器皿清洗：（1）丙酮溶液超聲10分鐘，無水乙醇超聲10分鐘，前后反復兩遍，后用熱、冷去離子水沖洗；（2）浸泡在混合溶液(K2CrO7:H2SO4:H2O)16小時以上，后沖熱去離子水15