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1、標準清洗流程標準清洗流程1標準硅片清洗流程:標準硅片清洗流程:(1)丙酮溶液超聲3-5分鐘,無水乙醇超聲3-5分鐘,前后反復兩遍,后用熱、冷去離子水沖洗;(2)用HF溶液(HF:H2O)泡30秒,沖去離子水15分鐘;(3)用I號洗液(NH4OH:H202:H20)先把去離子水加熱至85C,倒入NH4OH和H202,放入晶片,在燒杯中煮15分鐘,后用去離子水沖6-7遍;(4)用稀釋HF溶液(HF:H2O)泡30秒,沖熱去離子水15分鐘;(
2、5)用II號洗液(HCl:H202:H20)先把去離子水加熱至85C,倒入HCl和H202,放入晶片,在燒杯中煮15分鐘,后沖熱去離子水15分鐘,沖冷去離子水5分鐘;(6)吹干后,烘干備用。2標準玻璃片清洗流程:標準玻璃片清洗流程:(1)用有機混合溶液(丙酮:無水乙醇)浸泡拋光片,浸泡時間6小時以上;(2)拋光片在此有機混合溶液中超聲10分鐘;(3)丙酮溶液超聲10分鐘,無水乙醇超聲10分鐘,后用熱、冷去離子水沖洗;(4)吹干后烘干;(
3、5)浸泡在混合溶液(K2CrO7:H2SO4:H2O)16小時以上,后沖熱去離子水15分鐘,沖冷去離子水5分鐘;5硅片鍵合前清洗:硅片鍵合前清洗:(1)用I號洗液(NH4OH:H202:H20)先把去離子水加熱至85C,倒入NH4OH和H202,放入晶片,在燒杯中煮15分鐘,后用去離子水沖6-7遍;(2)用II號洗液(HCl:H202:H20)先把去離子水加熱至85C,然后倒入HCL和H202,放入晶片,在燒杯中煮15分鐘,后沖熱去離子
4、水15分鐘,沖冷去離子水5分鐘;(3)用III號洗液(H2SO4:H202)先加入H202,后緩慢倒入濃H2SO4,反應溫度在120C左右,在燒杯中煮20分鐘,后沖熱去離子水15分鐘,沖冷去離子水5分鐘;(4)吹干后,烘干備用。6.6.玻璃器皿清洗:玻璃器皿清洗:(1)丙酮溶液超聲10分鐘,無水乙醇超聲10分鐘,前后反復兩遍,后用熱、冷去離子水沖洗;(2)浸泡在混合溶液(K2CrO7:H2SO4:H2O)16小時以上,后沖熱去離子水15
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