等離子表面處理機(jī)

1、等離子清洗機(jī)在LCDCOG組裝工藝中的應(yīng)用等離子清洗等離子清洗等離子刻蝕等離子刻蝕等離子去膠等離子去膠等離子活化等離子活化等離子改性等離子改性等離子去膠渣等離子去膠渣一、前言一、前言目前組裝技術(shù)的趨勢(shì)主要是SIP、BGA、CSP封裝使半導(dǎo)體器件向模塊化、高集成化和小型化方向發(fā)展。在這樣的封裝與組裝工藝中，最大的問(wèn)題是粘結(jié)填料處的有機(jī)物污染和電加熱中形成的氧化膜等。由于在粘結(jié)表面有污染物存在，導(dǎo)致這些元件的粘接強(qiáng)度降低和封裝后樹(shù)脂的灌封強(qiáng)

2、度降低，直接影響到這些元件的組裝水平與繼續(xù)發(fā)展。為提高與改善這些元件的組裝能力，大家都在想盡一切辦法進(jìn)行處理。提高實(shí)踐證明，在封裝工藝中適當(dāng)?shù)匾氲入x子清洗技術(shù)進(jìn)行表面處理，可以大大改善封裝可靠性和提高成品率。二、等離子體二、等離子體離子體通常稱作物質(zhì)的第四種狀態(tài)，前三種狀態(tài)是固體、液體、氣體，它們是比較常見(jiàn)的，就存在于我們周圍。離子體盡管在宇宙的別處非常豐富，但在地球上只存在于某種特定環(huán)境。離子體的自然存在包括閃電、北極光。就好像把固

3、體轉(zhuǎn)變成氣體需要能量一樣，產(chǎn)生離子體也需要能量。當(dāng)溫度升高時(shí)，物質(zhì)就由固體變成液體，液體則會(huì)變成氣體。當(dāng)氣體的溫度升高時(shí)，此氣體分子會(huì)分離成為原子，若溫度繼續(xù)上升，圍繞在原子核周圍的電子就會(huì)脫離原子成離子（正電荷）與電子（負(fù)電荷），此現(xiàn)象稱為“電離”。因電離現(xiàn)象而帶有電荷離子的氣體便稱為“等離子（PLASMA）”。因此通常將等離子歸類為自然界中的“固體”、“液體”、“氣體”等物態(tài)以外的“第四態(tài)”。三、等離子清洗原理三、等離子清洗原理等離

4、子清洗一般是利用激光、微波、電暈放電、熱電離、弧光放電等多種方式將氣體激發(fā)成等離子狀態(tài)。在等離子清洗應(yīng)用中，主要是利用低壓氣體輝光等離子體。一些非聚合性無(wú)機(jī)氣體（Ar2、N2、H2、O2等）在高頻低壓下被激發(fā)，產(chǎn)生含有離子、激發(fā)態(tài)分子，自由基等多種活性粒子。一般在等離子清洗中，可把活化氣體分為兩類，一類為惰性氣體的等離子體（如Ar2、N2等）；另一類為反應(yīng)性氣體的等離子體（如O2、H2等）。等離子產(chǎn)生的原理如下：給一組電極施以射頻電壓（

5、頻率約為幾十兆赫茲），電極之間形成高頻交變電場(chǎng)，區(qū)域內(nèi)氣體在交變電場(chǎng)的激蕩下，產(chǎn)生等離子體?；钚缘入x子對(duì)被清洗物進(jìn)行表面物理轟擊與化學(xué)反應(yīng)雙重作用，使被清洗物表面物質(zhì)變成粒子和氣態(tài)物質(zhì)，經(jīng)過(guò)抽真空排出，而達(dá)到清洗目的。等離子清洗的清洗過(guò)程從原理上分為兩個(gè)過(guò)程3、等離子清洗可以降低被污染產(chǎn)品的腐蝕速度和腐蝕程度。從上面的原理分析及實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)可以得出：等離子清洗可用于LCD玻璃及LCD—COG半成品玻璃組裝過(guò)程的清洗，來(lái)改善產(chǎn)品的質(zhì)量及其穩(wěn)定