微電子廠反滲透濃水回收利用研究.pdf

1、在微電子生產(chǎn)廠商的生產(chǎn)工藝中，以城市自來水為原水的反滲透/去離子(RO/DI)超純水已經(jīng)成為一種消耗量極大的重要的原材料。由于用水成本已成為微電子生產(chǎn)廠商生產(chǎn)成本控制的一個重要環(huán)節(jié)，故須考慮將每天產(chǎn)生的大量的且絕大部分都是未加任何處理而直接排放的反滲透濃水進行回收利用。
　　 本研究課題通過對該微電子廠商反滲透濃水中污染物進行檢測分析，以及對不同類型的反滲透濃水回流阻垢藥劑的性能進行對比測試，并通過梯度膜試驗與濃水回流試驗，進而

2、提出該企業(yè)反滲透濃水回收利用的實用技術與最佳工藝流程參數(shù)，最終達到節(jié)約企業(yè)用水成本與減少水體環(huán)境污染的根本目的。經(jīng)過一年多的試驗得到以下結論：
　　 (1)當梯度膜濃水回收利用試驗裝置的反滲透膜梯級增加時，反滲透膜的初始壽命迅速下降。在梯級為二級時，反滲透膜的初始壽命下降幅度較小，故具有較佳的技術經(jīng)濟表現(xiàn)。
　　 (2)對于二級梯度膜試驗裝置，穩(wěn)定的運行條件下，酸型阻垢劑與堿型阻垢劑兩者的作用基本相當。在濃度約7.0 p

3、pm時，阻垢效果達到最佳；
　　 (3)對于二級梯度膜試驗裝置，在不使用阻垢劑的運行條件下，濃水最佳回流比為55％；在使用阻垢劑條件下，阻垢劑濃度約7.0 ppm時，濃水最佳回流比達到60％；此時，反滲透膜的初始壽命下降幅度較小，故具有較佳的技術經(jīng)濟表現(xiàn)。
　　 (4)通過使用二級梯度膜試驗裝置進行反滲透濃水回收利用，在阻垢劑濃度約7.0ppm，濃水回流比60％條件下，該微電子廠商可每年節(jié)約用水成本約30萬元，在年度節(jié)約