西安交通大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院磁控濺射系統(tǒng)招標(biāo)

1、西安交通大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院磁控濺射系統(tǒng)招標(biāo)技術(shù)協(xié)議本系統(tǒng)由2個(gè)腔自組合而成，各腔室超高真空鏈接，實(shí)驗(yàn)樣品可以不破壞真空在其間轉(zhuǎn)移，具體參數(shù)指標(biāo)為：1）掃描隧道顯微鏡腔：掃描隧道顯微鏡腔：1.1）原子操縱及自旋極化掃描隧道顯微鏡（）原子操縱及自旋極化掃描隧道顯微鏡（SPSTM）腔：）腔：空間分辨率：XY軸0.1；Z軸：0.01能量分辨率：~1meV；時(shí)間分辨率：1ms溫度：≤4.8K穩(wěn)定性：熱漂移2h，最小工作電流500fA輸運(yùn)測(cè)量：

2、樣品臺(tái)具備至少5個(gè)外部引線電極，并包含高頻信號(hào)探測(cè)用的電纜光學(xué)測(cè)量：配備光學(xué)透鏡組，其物鏡焦點(diǎn)始終處于隧穿結(jié)液氦消耗：4L可以保持60h或以上，在樣品上施加2T磁場(chǎng)亦可保證5K溫度下維持時(shí)間超過(guò)45h小時(shí)。包含樣品準(zhǔn)備室，其中配備：四軸樣品架（manipulat）樣品控溫裝置（100~1400K）；離子濺射槍及進(jìn)氣漏閥一套；低能電子衍射儀（LEEDAES），紅外測(cè)溫儀，四極質(zhì)譜儀，樣品解理臺(tái)，可裝掩模板的樣品臺(tái)各一個(gè)，高溫蒸發(fā)源≥1個(gè)。

3、真空度優(yōu)于5x1010mbar，配備離子泵鈦升華泵組合一套和渦輪分子泵一臺(tái)。1.2）自旋極化掃描及原子操縱相關(guān)參數(shù)：）自旋極化掃描及原子操縱相關(guān)參數(shù)：磁場(chǎng)強(qiáng)度：2.0T針尖：磁性包裹針（鎢針尖上鍍FeCrMn）自旋極化分別率：?jiǎn)卧优鋫淇刂茊卧―SPElectronics）及相應(yīng)STM測(cè)量軟件，軟件中應(yīng)內(nèi)置橫向（6種典型模式）及縱向原子操縱模塊原子操縱方向：橫向和縱向可操縱原子：Au、Pt、In、Dy、Mn、Co、Fe等2）可移動(dòng)式）