大宗氣體及特殊氣體

1、137GAS系統(tǒng)基礎(chǔ)知識(shí)337二、二、GASHOOKUP專業(yè)知識(shí)的基本認(rèn)識(shí)專業(yè)知識(shí)的基本認(rèn)識(shí)在半導(dǎo)體廠，所謂氣體管路的Hookup（配管銜接）以BuckGas（一般性氣體如CDA、GN2、PN2、PO2、PHE、PAR、H2等）而言，自供氣源之氣體存貯槽出口點(diǎn)經(jīng)主管線（MainPiping）至次主管線（SubMainPiping）之TakeOff點(diǎn)稱為一次配（SP1Hookup），自TakeOff出口點(diǎn)至機(jī)臺(tái)（Tool）或設(shè)備（Equi

2、pment）的入口點(diǎn)，謂之二次配（SP2Hookup）。以SpecialtyGas（特殊性氣體如：腐蝕性、毒性、易燃性、加熱氣體等之氣體）而言其供氣源為氣柜（GasCabi）。自GC出口點(diǎn)至VMB（ValveMainfoldBox.多功能閥箱）或VMP（ValveMainfoldPanel多功能閥盤）之一次測(cè)（Primary）入口點(diǎn)，稱為一次配（SP1Hookup），由VMB或VMPStick之二次側(cè)（Secondary）出口點(diǎn)至機(jī)臺(tái)入