某集成電路芯片制造項(xiàng)目職業(yè)病危害控制效果評(píng)價(jià)

1、某集成電路芯片制造項(xiàng)目職業(yè)病危害控制效果評(píng)價(jià)Evaluationofcontroleffectonoccupationalhazardsofamanufacturingconstructioniteminintegratedcircuitchips摘要：摘要：對(duì)某集成電路芯片制造項(xiàng)目進(jìn)行職業(yè)病危害控制效果評(píng)價(jià)，確定建設(shè)項(xiàng)目中存在的職業(yè)病危害因素，分析其危害程度及對(duì)勞動(dòng)者健康的影響，評(píng)價(jià)職業(yè)病危害防護(hù)措施及其效果。結(jié)果表明該項(xiàng)目存在50多

2、種職業(yè)病危害因素，主要有鹽酸、氫氟酸、硫酸、氯、氨、氫氧化鈉、氟化物、砷化氫、丙酮、異丙醇、噪聲等，經(jīng)檢測(cè)全部低于職業(yè)接觸限值，但存在某些問(wèn)題并提出相應(yīng)建議。關(guān)鍵詞：關(guān)鍵詞：集成電路；職業(yè)衛(wèi)生；控制效果評(píng)價(jià)根據(jù)國(guó)家有關(guān)職業(yè)病防治的法律法規(guī)和規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)，從源頭控制或消除職業(yè)病危害，保護(hù)勞動(dòng)者健康。受業(yè)主委托我們對(duì)某集成電路芯片制造項(xiàng)目進(jìn)行了職業(yè)病危害控制效果評(píng)價(jià)。確定該項(xiàng)目中存在的職業(yè)病危害因素，分析其危害程度及對(duì)勞動(dòng)者健康的影響，評(píng)價(jià)職業(yè)

3、病危害防護(hù)措施及其效果。1工藝流程及職業(yè)病危害1.1生產(chǎn)工藝企業(yè)購(gòu)進(jìn)硅片后，在無(wú)塵室內(nèi)依靠高度自動(dòng)化的設(shè)備在硅片上進(jìn)行各種處理，形成具有一定邏輯功能的電路。主要包括：氧化、清洗、光刻、擴(kuò)散、離子注入等過(guò)程，根據(jù)產(chǎn)品的要求，上述工序可多次重復(fù)。整個(gè)生產(chǎn)可分為擴(kuò)散、離子植入、光刻、蝕刻四個(gè)區(qū)域和公用工程。1.2職業(yè)病危害因素該項(xiàng)目使用的化學(xué)物質(zhì)達(dá)50種之多，但大多用量不大。主要物質(zhì)有鹽酸、氫氟酸、硫酸、氯、氨、氫氧化鈉、氟化物、砷化氫，氬氣

4、、氮?dú)?、氫氣、氦氣，二甲亞砜、丙酮、異丙醇、乙酸甲氧基乙酯、丙二醇甲醚、N甲基環(huán)丙酰酮等。2結(jié)果與評(píng)價(jià)2.1檢測(cè)結(jié)果表1主要化學(xué)物質(zhì)和噪聲檢測(cè)結(jié)果檢測(cè)項(xiàng)目樣品數(shù)(份)結(jié)果范圍(mgm3)TWA(mgm3)單項(xiàng)指數(shù)硫酸200.05~0.150.06~0.0920.08氯氣36未檢出未檢出0氨氣540.03~0.600.234~0.3070.01鹽酸380.08~0.510.178~0.480.04丙酮38未檢出~174.31.38~11.

5、80.02異丙醇38未檢出~4.12未檢出~0.620.002砷化氫180.001~0.0050.00270.09氟化氫1200.042~0.180.062~0.1170.05氟化物110.042~0.300.236~0.2580.13氫氧化鈉9未檢出~0.1190.014~0.0420.01噪聲4469.0~87.070.0~85.40.883：?jiǎn)挝籨B(A)，TWA噪聲值指平均等效聲級(jí)。根據(jù)表1，各主要化學(xué)物質(zhì)均符合國(guó)家職業(yè)衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)

6、，單項(xiàng)指數(shù)均小于1。5起，其余4件為儀器誤操作或系統(tǒng)錯(cuò)誤。但沒(méi)有造成人員傷害。3.3本項(xiàng)目使用的化學(xué)物質(zhì)中，很多是高毒物質(zhì)。包括氨、氟化氫、氟化物、砷化氫等，都很容易對(duì)人員造成傷害。在過(guò)去的10個(gè)月中，共有工傷15起，其中化學(xué)品燒傷或可能為化學(xué)品燒傷有11件，大部分燒傷是由氫氟酸引起的傷害。燒傷部位主要有眼部5件，手部6件。經(jīng)六氟靈及清水沖洗均為痊愈。并且由于使用的化學(xué)物質(zhì)繁多，至今已發(fā)生20余起的臉和手的局部過(guò)敏反應(yīng)，可能系防塵服與臉

7、部摩擦和手套過(guò)敏造成；以及3人的全身過(guò)敏反應(yīng)，可能與藥物或有機(jī)溶劑有關(guān)。3.4對(duì)某些存在問(wèn)題提出建議。包括化學(xué)品倉(cāng)庫(kù)儲(chǔ)藏化學(xué)品不宜過(guò)多，高壓鋼瓶區(qū)域宜設(shè)置泄險(xiǎn)區(qū)；在小劑量的化學(xué)品運(yùn)送過(guò)程中，應(yīng)保證路面平整，避免傾斜或顛簸，運(yùn)送人員應(yīng)佩帶相應(yīng)的防護(hù)用具；人工傾液投料崗位宜加強(qiáng)防護(hù)，盡可能選用小包裝進(jìn)行人工傾液；增加廁所、盥洗室和淋浴室的數(shù)量或調(diào)整分布位置，設(shè)置婦女衛(wèi)生室；建立健全職業(yè)衛(wèi)生制度，保證職業(yè)衛(wèi)生經(jīng)費(fèi)的投入；繼續(xù)觀察員工過(guò)敏反應(yīng)，