甲基丙烯酸酯類光刻膠成膜樹脂的合成與性能研究

1、——————————————————————————————————————甲基丙烯酸酯類光刻膠成膜樹脂的合成與性能研究第40卷第2期2011年2月應(yīng)用化工AppliedChemicalIndustryVo.l40No.2Feb.2011甲基丙烯酸酯類光刻膠成膜樹脂的合成與性能研究何姣郭文迅彭蕩賀倩(湖南大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院湖南長(zhǎng)沙410082)摘要:以甲基丙烯酸(MAA)、甲基丙烯酸甲酯(MMA)、丙烯酸丁酯(BA)為單體偶氮二異丁

2、腈為引發(fā)劑采用溶液自由基聚合方法合成了甲基丙烯酸酯類光刻膠成膜樹脂研究了合成工藝對(duì)產(chǎn)物分子量及分子量分布的影響并對(duì)其在光刻膠中的應(yīng)用性能如堿溶性、涂膜表面干燥性、感度和分辨率等進(jìn)行了初步考察。結(jié)果表明在引發(fā)劑用量為單體用量的0.6%~1%、反應(yīng)溫度80~85、3次進(jìn)料條件下制得的聚合物的重均分子量為44341~53696分子量分布為3.66~5.69由單體質(zhì)量比MAAMMABA為255025的成膜樹脂配制的光刻膠分辨率達(dá)35m。關(guān)鍵詞:

3、光刻膠成膜樹脂甲基丙烯酸酯堿溶性分辨率中圖分類號(hào):TQ572文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼:A文章編號(hào):16713206(2011)02021005Synthesispropertiesofmethylacrylatephotesistmatrixresin——————————————————————————————————————脆性及褪膜顆粒且不同分子量組分相互穿插狀態(tài)的形成使溶解過程中低分子量組分以較小顆?？焖偃芙飧叻肿恿拷M分被分離成小塊溶解掉增大了

4、高分子量組分與溶液接觸面積提高了褪膜效果和圖像質(zhì)量。本文主要討論了引發(fā)劑種類及用量、反應(yīng)溫度、加料方式以及單體配比等的影響并對(duì)光刻膠的涂膜表面干燥性、感度以及分辨率等性能進(jìn)行了初步研究。。光刻膠由成膜樹脂、感光劑、溶劑和添加劑組成成膜樹脂是光刻膠的骨架和基礎(chǔ)材料它對(duì)光刻膠性能有決定性的影響[4]。光刻膠分辨率較低膜[56]硬度大、脆、褪膜顆粒較大且采用致癌性物質(zhì)苯乙烯是其使用受到限制的主要原因。本文采用在一個(gè)聚合反應(yīng)中合成不同分子量組分