反應磁控濺射金屬tin多層膜及金屬摻雜tin薄膜的制備與特性_第1頁
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文檔簡介

1、理學 碩士學位 論文反應磁控濺射金屬/TiN 多層膜及金屬摻雜 TiN 薄膜的制備與特性PREPARATION AND CHARACTERIZATION OFMETAL/TiN MULTILAYER AND METAL-DOPED TiNFILMS DEPOSITED BY REACTIVE MAGNETRONSPUTTERING王 靜光 學延 邊 大 學學校代碼：10184分 類 號：O4 O4 O4 O4分類號 O4 密級U D C

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