復(fù)合高功率脈沖磁控濺射的高離化率等離子體特性研究

1、分類號(hào)：____________ 密 級(jí)：______________ ＵＤＣ：____________ 單位代碼：______________ 碩士學(xué)位論文 碩士學(xué)位論文 論文題目：復(fù)合高功率脈沖磁控濺射的高離化率 等離子體特性研究 學(xué) 號(hào)：_________________________ 姓 名：_________________________ 專 業(yè) 名 稱：______

2、___________________ 學(xué) 院：_________________________ 指 導(dǎo) 教 師：_________________________ _________________________ __________________________ 論文完成單位:_____________________________________ 論文提交日期：2014 年 4 月 25 日 李小嬋 公開 1

3、 1 6 4 6 1111071062 0649 凝聚態(tài)物理 汪愛英 研究員 柯培玲 研究員 理 學(xué) 院 劉新才 教授 中國(guó)科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所 獨(dú) 創(chuàng) 性 聲 明 本人鄭重聲明：所呈交的論文是我個(gè)人在導(dǎo)師指導(dǎo)下進(jìn)行的研究工作及取得研究成果。盡我所知，除了文中特別加以標(biāo)注和致謝的地方外，論文中不包含其他人已經(jīng)發(fā)表或撰寫的研究成果，也不包含為獲得寧波大學(xué)或其他教育機(jī)構(gòu)的學(xué)位或證書所使用過的材料。與我一同工作的同志對(duì)本研究所

4、做的任何貢獻(xiàn)均已在論文中做了明確的說明并表示了謝意。 若有不實(shí)之處，本人愿意承擔(dān)相關(guān)法律責(zé)任。 簽名：___________ 日期：____________ 關(guān)于論文使用授權(quán)的聲明 關(guān)于論文使用授權(quán)的聲明 本人完全了解寧波大學(xué)有關(guān)保留、使用學(xué)位論文的規(guī)定，即：學(xué)校有權(quán)保留送交論文的復(fù)印件，允許論文被查閱和借閱；學(xué)校可以公布論文的全部或部分內(nèi)容，可以采用影印、縮印或其他復(fù)制手段保存論文。 （保密的論文在解密后應(yīng)遵循此規(guī)定 保密的論文