熱式流量計(jì)的誤差分析及精度提升方法研究.pdf

1、熱式質(zhì)量流量計(jì)(Thermal Mass Flowmeter)是利用傳熱原理實(shí)現(xiàn)流量測(cè)量的儀表，其成本低，原理、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，無(wú)可動(dòng)部件，壓力損失小，測(cè)量范圍大，是當(dāng)前質(zhì)量流量計(jì)的研究熱點(diǎn)，廣泛用于汽車電子、半導(dǎo)體工業(yè)、能源與環(huán)保等領(lǐng)域，但目前對(duì)熱式流量計(jì)的誤差理論研究不足，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的熱式質(zhì)量流量計(jì)普遍測(cè)量精度不高，另外，對(duì)熱式流量計(jì)傳感器深入的理論研究也很少，而傳感器作為直接感知流量信號(hào)的元件，其熱學(xué)特性對(duì)整個(gè)流量計(jì)的精度也有著重大影響。

2、
　　針對(duì)熱式質(zhì)量流量計(jì)測(cè)量精度不高的問(wèn)題，本文主要研究工作如下:
　　1)研究了常用類型的熱式流量傳感器，通過(guò)深入分析傳感器的特性，提出一項(xiàng)應(yīng)用于流量測(cè)量時(shí)的技術(shù)指標(biāo):測(cè)速響應(yīng)時(shí)間，并設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)進(jìn)行了分析研究;
　　2)從測(cè)量原理、數(shù)據(jù)處理、元器件性能等方面分析了熱式質(zhì)量流量計(jì)的測(cè)量不確定度來(lái)源，對(duì)主要測(cè)量不確定度來(lái)源氣體溫度變化、插入深度偏差進(jìn)行重點(diǎn)研究，給出了相應(yīng)的測(cè)量不確定度傳播系數(shù);
　　3)詳細(xì)分析研究