2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁(yè)
已閱讀1頁(yè),還剩44頁(yè)未讀, 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說(shuō)明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡(jiǎn)介

1、單晶硅表面金屬化可進(jìn)一步擴(kuò)大其應(yīng)用領(lǐng)域,在電子計(jì)算機(jī)、電動(dòng)控制、通信工程以及電氣配件等方面具有重要的作用。對(duì)單晶硅表面進(jìn)行金屬化,能使其在保持半導(dǎo)體光電特性的同時(shí),兼具金屬導(dǎo)電性、導(dǎo)磁性等優(yōu)點(diǎn)。單晶硅表面的前處理是施鍍成功與否的關(guān)鍵因素之一,但傳統(tǒng)的表面處理工藝不僅操作復(fù)雜,還會(huì)不同程度地?fù)p壞材料表面。因此,尋找一種不損壞材料表面,且能使得化學(xué)鍍銅和電鍍銅順利進(jìn)行的前處理工藝勢(shì)在必行。
  本文以單晶硅為基底,通過(guò)電暈放電以及親水

2、劑處理的方法,對(duì)單晶硅基底進(jìn)行前處理,然后在前處理后的基底表面制備3-氨丙基三乙氧基硅烷(APTES)自組裝薄膜,最后進(jìn)行化學(xué)鍍銅和電鍍銅的研究。利用接觸角測(cè)量?jī)x、X射線能譜儀(EDX)、掃描電子顯微鏡(SEM)和循環(huán)伏安法(CV)對(duì)銅膜形貌進(jìn)行表征,從而得到以下結(jié)論:
  (1)單晶硅表面自組裝APTES薄膜的最佳工藝條件為:APTES濃度為3mmol/L,醇/水=90/10,35℃下水解24h,進(jìn)行自組裝30min,100℃固

3、化50min,在該條件下獲得了粗糙度和親水性良好的單晶硅基底,為后續(xù)的鍍銅工藝奠定了基礎(chǔ)。
  (2)在組裝了APTES薄膜的單晶硅基底表面進(jìn)行化學(xué)鍍銅,通過(guò)正交試驗(yàn)確定化學(xué)鍍銅的最佳工藝參數(shù)為鍍銅液pH=12.6,化學(xué)鍍30min,化學(xué)鍍溫度55℃,SEM結(jié)果證明該條件下得到的銅鍍層完全覆蓋基底,銅層均勻致密并呈現(xiàn)出金屬光澤,與基底粘結(jié)性能良好,為后續(xù)的電鍍銅工藝研究奠定了基礎(chǔ)。
  (3)在具有良好化學(xué)鍍銅層的單晶硅基底

4、表面進(jìn)行電鍍銅研究,電鍍液配方為133g/L CuSO4·5H2O,6.6mL/L H25O4,53.3mg/L NaCl,以單因素試驗(yàn)為基礎(chǔ)結(jié)合循環(huán)伏安分析確定了最佳電鍍參數(shù)為電流密度1.56A/dm2,電鍍時(shí)間600s,此時(shí)得到的銅顆粒與基底通過(guò)配位鍵連接,粘結(jié)力強(qiáng),銅膜具有金屬光澤且均一致密,導(dǎo)電能力最強(qiáng)。
  由于APTES自組裝薄膜中的N原子與鍍層金屬原子之間存在強(qiáng)化學(xué)配位作用,本研究既獲得了與單晶硅基底結(jié)合牢靠的銅層,

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒(méi)有圖紙預(yù)覽就沒(méi)有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評(píng)論

0/150

提交評(píng)論