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文檔簡介
1、1班組的維護 維護流程 流程1】 維護 維護準(zhǔn)備 1】 提前準(zhǔn) 提前準(zhǔn)備維護 備維護工具 工具 石英管的準(zhǔn) 石英管的準(zhǔn)備 8—15 根 (單晶需 晶需 15根, 根,2 根備用 多晶需 多晶需 9 根, 根,1 根備用) 用) 2】 石英管 石英管 的挑 的挑選注意:口徑的大小 注意:口徑的大小 兩端口徑不要有裂痕 兩端口徑不要有裂痕 整根不能有裂痕 整根不能有裂痕 碰痕。 碰痕。無細(xì)微裂紋 無細(xì)微裂紋和氣泡 和氣泡3】4】 一對
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