微納米三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)軟件開(kāi)發(fā)及其系統(tǒng)測(cè)試.pdf

1、近年來(lái)三維微納米測(cè)量技術(shù)受到了很大關(guān)注。由于超精密加工技術(shù)的迅速發(fā)展，出現(xiàn)了很多微尺寸構(gòu)件，精密光學(xué)器件等零部件，它們的加工精度要求在微米和亞微米級(jí)別，這就要求檢驗(yàn)這些零部件的三維測(cè)量設(shè)備的測(cè)量精度要在亞微米以下?；诋?dāng)前的環(huán)境下，具有微納米級(jí)精度的微納米三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)由此而生。
　　在原來(lái)實(shí)驗(yàn)室三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)程序模塊的基礎(chǔ)上，本論文對(duì)程序的改進(jìn)工作如下:
　　(1)之前的軟件運(yùn)動(dòng)控制算法沒(méi)有優(yōu)化好導(dǎo)致機(jī)臺(tái)運(yùn)動(dòng)過(guò)程中軟件有時(shí)會(huì)出

2、現(xiàn)報(bào)錯(cuò)現(xiàn)象，這樣對(duì)軟件穩(wěn)定性造成一定影響，這個(gè)問(wèn)題非常影響實(shí)驗(yàn)的進(jìn)行。首要解決軟件的穩(wěn)定性問(wèn)題，采用常規(guī)PID控制機(jī)臺(tái)運(yùn)動(dòng)，通過(guò)合適的參數(shù)，準(zhǔn)確的控制AB2驅(qū)動(dòng)器，使機(jī)臺(tái)最后達(dá)到微納米級(jí)精度的定位。
　　(2)完成SIOS激光干涉儀位移和各軸位移的比較程序，通過(guò)直線擬合的方法消除定位誤差，提高了測(cè)量精度。同時(shí)之前機(jī)臺(tái)軟件的測(cè)量功能比較單一，只能測(cè)量Z軸方向的階高和平面度。目前添加了X、Y軸方向上的厚度和平面度程式，對(duì)軟件測(cè)量功能進(jìn)