MEMS圓板扭轉(zhuǎn)諧振器件的擠壓膜阻尼機(jī)理與模型.pdf

1、MEMS微諧振器件，是MEMS領(lǐng)域中比較典型的一類(lèi)器件，該器件工作在微機(jī)械結(jié)構(gòu)的固有頻率附近，品質(zhì)因數(shù)Q是微諧振器中的一個(gè)關(guān)鍵指標(biāo)，高的品質(zhì)因數(shù)給振動(dòng)系統(tǒng)帶來(lái)高的分辨率和靈敏度。擠壓膜阻尼作為氣體阻尼的一種，對(duì)MEMS系統(tǒng)的動(dòng)力學(xué)特性的影響很大。因此，如何準(zhǔn)確的預(yù)測(cè)擠壓膜阻尼是設(shè)計(jì)高品質(zhì)因數(shù)諧振器件的重要前提。
　　前人已經(jīng)對(duì)MEMS扭轉(zhuǎn)微諧振器擠壓膜阻尼進(jìn)行了大量的研究，但是他們的研究更多的集中在矩形板諧振器件上，對(duì)圓板扭轉(zhuǎn)諧振

2、器件擠壓膜阻尼的研究很少，而對(duì)穿孔圓板扭轉(zhuǎn)諧振器件擠壓膜阻尼的研究更是空白。鑒于圓板在MEMS扭轉(zhuǎn)諧振器件的應(yīng)用越來(lái)越廣泛，其應(yīng)用面甚至超越了矩形板，所以，研究圓板扭轉(zhuǎn)以及穿孔圓板扭轉(zhuǎn)諧振器件的擠壓膜阻尼意義重大。
　　本文針對(duì)MEMS領(lǐng)域的研究空白，分別對(duì)圓板扭轉(zhuǎn)以及穿孔圓板扭轉(zhuǎn)諧振器件擠壓膜阻尼進(jìn)行了分析，對(duì)間隙氣體建立控制方程，并把控制方程在柱坐標(biāo)中進(jìn)行轉(zhuǎn)換，之后通過(guò)貝塞爾函數(shù)求解雷諾方程來(lái)得到兩種不同結(jié)構(gòu)的擠壓膜阻尼解析模