2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
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文檔簡介

1、ZnS是一種重要的直接躍遷型寬帶隙化合物半導(dǎo)體材料,其禁帶寬度為3.5~3.7eV,大于CdS的禁帶寬度(2.4eV),在可見光以及紅外區(qū)域具有低的光學(xué)吸收和高的折射率,在光電器件方面應(yīng)用廣泛。國內(nèi)外ZnS的制備方式有許多種,主要有氣相方法和液相方法。其中氣相方法主要包括磁控濺射法,熱蒸發(fā)法,脈沖激光沉積方法和離子束輔助沉積方法等。采用磁控濺射法制備的ZnS薄膜的性質(zhì)與退火處理密切相關(guān),退火處理使薄膜內(nèi)的原子獲得能量進(jìn)行擴(kuò)散、遷移,一些

2、點(diǎn)缺陷發(fā)生復(fù)位,擴(kuò)散進(jìn)入品格位置,從而使薄膜內(nèi)的缺陷減少,薄膜內(nèi)的應(yīng)力得以松弛。
  本文采用濺射金屬膜在硫氣氛下制備ZnS薄膜材料,研究了硫化溫度、熱處理、襯底材料等因素對ZnS薄膜生長特性的影響,同時(shí)利用正電子湮沒譜學(xué)技術(shù)對材料缺陷的敏感性探測,從微觀機(jī)理的角度出發(fā)探索薄膜生長過程中微觀缺陷的變化。發(fā)現(xiàn)硫化法制備的ZnS薄膜基本以(111)取向?yàn)橹鳎?45℃左右成膜質(zhì)量較優(yōu),并且在410℃-440℃硫化溫度范圍內(nèi)發(fā)現(xiàn)了ZnS

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