并行快速橢圓偏振分析方法的研究.pdf

1、橢圓偏振態(tài)的分析和研究以其在薄膜材料結(jié)構(gòu)參數(shù)和光學(xué)常數(shù)絕對(duì)值測(cè)量中所顯示的高準(zhǔn)確度，高靈敏度、非破壞性、非接觸式等優(yōu)點(diǎn)而在科學(xué)研究和工業(yè)領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。
　　本論文在探索和研究如何進(jìn)一步提高橢偏參數(shù)的測(cè)量速度和精準(zhǔn)度兩方面完成了以下工作:
　　1.研究了一種并行橢圓偏振態(tài)的測(cè)量方法，將12個(gè)微型檢偏晶體集成為一個(gè)組合式檢偏器，采用CCD二維面陣探測(cè)器對(duì)光強(qiáng)進(jìn)行多通道探測(cè)，徹底消除機(jī)械轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)，顯著縮短了橢偏參數(shù)的測(cè)量時(shí)

2、間。對(duì)體材料硅片進(jìn)行了測(cè)量，測(cè)得的橢偏參數(shù)與另外兩種傳統(tǒng)的光度式橢偏測(cè)量方法測(cè)得的橢偏參數(shù)進(jìn)行了比較分析，獲得了一致的結(jié)果，因而驗(yàn)證了這種新型橢偏測(cè)量方法的可行性，使其有望在實(shí)時(shí)橢偏測(cè)量領(lǐng)域獲得應(yīng)用。
　　2.采用理論模擬與實(shí)驗(yàn)結(jié)合的方法，研究了同步旋轉(zhuǎn)起偏器和檢偏器型的光度式橢偏方法在測(cè)量橢偏參數(shù)和光學(xué)常數(shù)時(shí)，因采用離散傅立葉變換所引入的系統(tǒng)誤差對(duì)兩組求解橢偏參數(shù)的方程產(chǎn)生的隨機(jī)誤差影響。揭示了系統(tǒng)誤差與隨機(jī)誤差在兩組方程中的傳