毫米波橢圓偏振測量法的研究.pdf

1、橢圓偏振測量法是一種高精度、非接觸的現(xiàn)代檢測技術(shù)，在薄膜參數(shù)及其特性的測量方面有著廣泛的應(yīng)用。對于那些可以透過毫米波但不透光的介質(zhì)薄膜而言，由于無法使用光學(xué)橢偏法測量其薄膜參數(shù)，故研究一種新型的毫米波橢偏測量法及其系統(tǒng)就具有十分重要的意義。本文對毫米波橢偏法進行了全面的理論分析和數(shù)值模擬，建立了相應(yīng)的實驗測量系統(tǒng)，并對薄膜樣品進行了實驗測量研究，主要研究內(nèi)容及成果如下： 首先，研究了毫米波橢偏法的測量原理、實驗裝置以及數(shù)值反演算

2、法。其次，重點分析了裝置誤差對測量結(jié)果的影響，結(jié)果表明，在所有的裝置誤差中，入射角和方位角的影響最大，會導(dǎo)致測量結(jié)果產(chǎn)生較大的誤差，故在測量之前須仔細調(diào)整入射角和方位角。同時，對薄膜參數(shù)和橢偏參數(shù)之間的關(guān)系進行了詳細的數(shù)值模擬研究，結(jié)果表明，薄膜參數(shù)在反演過程中存在多值性問題，但對于介電常數(shù)在2.1～10范圍內(nèi)，厚度小于2mm的介質(zhì)薄膜而言，可以反演出唯一確定的準確值。接著，對橢偏測量的實驗條件進行了討論與分析，為了保證實驗測量的準確性