大氣壓等離子體射流的產(chǎn)生機理.pdf

1、該文首先回顧了各種能夠產(chǎn)生大體積、高氣壓非平衡等離子體源的方法,以及正在高速發(fā)展的大氣壓非平衡等離子體源.著重介紹了一種大氣壓非平衡等離子體源——等離子體射流的發(fā)展過程.建立一個大氣壓下非平衡等離子體放電的理論模型,來研究大氣壓等離子子體射流內(nèi)部的電子和離子的空間和時間分布.這個理論模型主要是由電子離子的連續(xù)性方程和等離子體空間內(nèi)泊松方程構成的.該文采用差分的方法來解這組方程,而對積累在介質(zhì)阻擋層上的面電荷密度,這里采用一個均勻分布的體

2、電荷密度來代替.結果,計算了不同的電源頻率和電壓下,等離子體內(nèi)部電子和離子隨著時間和空間演化規(guī)律.在實驗上分析和比較了不同的放電氣流、不同的放電氣體、不同的放電電壓以及不同的外電極和不同的放電電源頻率下的所得到的放電現(xiàn)象.和理論模擬的結果相比較得出的主要結論為:高頻電源放電達到平衡時產(chǎn)生的等離子體密度分布是非常不均勻的,并且這個密度分布和初始的本底密度大小無關,但是增加電源電壓可以提高等離子體密度,然而密度的增加幅度并不明顯.射頻電源放