大氣壓射流冷等離子體的產(chǎn)生和特性研究.pdf

1、中國科學技術大學博士學位論文大氣壓射流冷等離子體的產(chǎn)生和特性研究姓名：程誠申請學位級別：博士專業(yè)：等離子體物理指導教師：詹如娟20060501中國科學技術大學博士論文摘要度進行了估算。由于大氣壓射流冷等離子體的氣體溫度低，我們將它用于滅菌試驗。對大腸桿菌和枯草桿菌的滅菌結果表明，當?shù)入x子體接觸到菌種時，等離子體的滅菌效果要好于沒有接觸的情況。我們還利用發(fā)射光譜對大氣壓射流冷等離子體的活性成分進行了初步分析，并利用紫外吸收譜測得射流冷等離

2、子體產(chǎn)生的臭氧含量為10x1016cm3。大氣壓射流冷等離子體被用于聚丙烯(PP)和苯二甲酸乙二酯(PET)纖維的表面改性研究。在射流冷等離子體處理之后，PP和PET與水的接觸角明顯減小，放置在空氣中60天后兩種聚合纖維與水的接觸角有小幅的回升。我們利用紅外吸收譜(FTIR)、X射線光電子能譜(XPS)對聚合纖維表面的化學改變進行了研究，發(fā)現(xiàn)在經(jīng)過等離子體處理以后，聚合纖維表面出現(xiàn)了～C=O，OH，COH和COO這樣的含氧極性基團。其中

3、，在處理后的PP表面上出現(xiàn)了極性基團OH和COO；PET表面上出現(xiàn)了一C=O，COH。掃描電子顯微鏡(SEM)顯示PET纖維表面在處理后變得粗糙，而PP纖維表面在處理后則沒有明顯的變化。我4flN用大氣壓下平行平板電極DBD放電等離子體化學氣相沉積和大氣壓射流冷等離子體兩種方法進行類二氧化硅薄膜的沉積實驗研究。大氣壓下平行平板電極DBD放電等離子體化學氣相沉積的工作氣體分別用了氬氣和氮氣，而大氣壓射流冷等離子體的工作氣體是氬氣。六甲基二

4、硅氧烷(HMDSO)作為硅和氧的先驅粒子。運用紅外吸收光譜(FTIR)和X射線光電子能譜(XPS)對沉積薄膜進行結構分析。紅外吸收譜分析呈現(xiàn)出明顯的SiOSi吸收峰，有機硅的含量也隨HMDSO的含量的增加而迅速增加很快趨于飽和。大氣壓下平行平板電極DBD放電等離子體化學氣相沉積得到的類二氧化硅薄膜中[Si]／[O]的含量比為1：118，而大氣壓射流冷等離子體沉積得到的類二氧化硅薄膜的[Si]／[O]含量比為1：189。從硅氧含量比來看大