大氣壓射流冷等離子體的產(chǎn)生和特性研究.pdf

1、中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)博士學(xué)位論文大氣壓射流冷等離子體的產(chǎn)生和特性研究姓名：程誠(chéng)申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：博士專(zhuān)業(yè)：等離子體物理指導(dǎo)教師：詹如娟20060501中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)博士論文摘要度進(jìn)行了估算。由于大氣壓射流冷等離子體的氣體溫度低，我們將它用于滅菌試驗(yàn)。對(duì)大腸桿菌和枯草桿菌的滅菌結(jié)果表明，當(dāng)?shù)入x子體接觸到菌種時(shí)，等離子體的滅菌效果要好于沒(méi)有接觸的情況。我們還利用發(fā)射光譜對(duì)大氣壓射流冷等離子體的活性成分進(jìn)行了初步分析，并利用紫外吸收譜測(cè)得射流冷等離

2、子體產(chǎn)生的臭氧含量為10x1016cm3。大氣壓射流冷等離子體被用于聚丙烯(PP)和苯二甲酸乙二酯(PET)纖維的表面改性研究。在射流冷等離子體處理之后，PP和PET與水的接觸角明顯減小，放置在空氣中60天后兩種聚合纖維與水的接觸角有小幅的回升。我們利用紅外吸收譜(FTIR)、X射線光電子能譜(XPS)對(duì)聚合纖維表面的化學(xué)改變進(jìn)行了研究，發(fā)現(xiàn)在經(jīng)過(guò)等離子體處理以后，聚合纖維表面出現(xiàn)了～C=O，OH，COH和COO這樣的含氧極性基團(tuán)。其中

3、，在處理后的PP表面上出現(xiàn)了極性基團(tuán)OH和COO；PET表面上出現(xiàn)了一C=O，COH。掃描電子顯微鏡(SEM)顯示PET纖維表面在處理后變得粗糙，而PP纖維表面在處理后則沒(méi)有明顯的變化。我4flN用大氣壓下平行平板電極DBD放電等離子體化學(xué)氣相沉積和大氣壓射流冷等離子體兩種方法進(jìn)行類(lèi)二氧化硅薄膜的沉積實(shí)驗(yàn)研究。大氣壓下平行平板電極DBD放電等離子體化學(xué)氣相沉積的工作氣體分別用了氬氣和氮?dú)?，而大氣壓射流冷等離子體的工作氣體是氬氣。六甲基二

4、硅氧烷(HMDSO)作為硅和氧的先驅(qū)粒子。運(yùn)用紅外吸收光譜(FTIR)和X射線光電子能譜(XPS)對(duì)沉積薄膜進(jìn)行結(jié)構(gòu)分析。紅外吸收譜分析呈現(xiàn)出明顯的SiOSi吸收峰，有機(jī)硅的含量也隨HMDSO的含量的增加而迅速增加很快趨于飽和。大氣壓下平行平板電極DBD放電等離子體化學(xué)氣相沉積得到的類(lèi)二氧化硅薄膜中[Si]／[O]的含量比為1：118，而大氣壓射流冷等離子體沉積得到的類(lèi)二氧化硅薄膜的[Si]／[O]含量比為1：189。從硅氧含量比來(lái)看大