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1、硬質(zhì)薄膜因能顯著改善切削刀具的切削性能及工模具的抗磨損性能、提高它們的使用壽命,在現(xiàn)代化工業(yè)生產(chǎn)中廣為應(yīng)用.合理設(shè)計薄膜的微結(jié)構(gòu)能大大提高它們的力學(xué)性能,是硬質(zhì)薄膜研究的一個重要領(lǐng)域.具有非晶包覆納米晶微結(jié)構(gòu)的納米復(fù)合膜能同時具有超高硬度及好的韌性,其特殊的強化機制具有重要的理論研究價值,而其優(yōu)良的力學(xué)性能使之具有良好的應(yīng)用潛力.該文以具有較高硬度以及良好的抗氧化能力的(Ti,Al)N薄膜為基礎(chǔ),通過(Ti,Al)復(fù)合靶和Si靶在N2中
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