（Ti，Al）N薄膜力學(xué)性能及微觀組織結(jié)構(gòu)的研究.pdf

1、和TiN薄膜相比，（Ti,Al）N薄膜具備了許多優(yōu)良的特性，如：高硬度、抗高溫氧化性能、良好的耐磨性等。因此，（Ti,Al）N薄膜在切削刀具、工模具領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。 本文以（Ti,Al）N薄膜為研究對(duì)象。采用反應(yīng)磁控濺射的方法，利用Ti-Al鑲嵌靶，在氮?dú)?氬氣混合氣氛下，制備具有不同力學(xué)性能和結(jié)構(gòu)成分的（Ti,Al）N薄膜。運(yùn)用納米壓入法、劃痕法和SEM、 AFM、EDS、XRD、XPS等測(cè)試方法測(cè)量（Ti,Al）N薄膜的微觀力

2、學(xué)性能、表面形貌和組織結(jié)構(gòu)。主要研究氮?dú)夥謮?、基體偏壓等工藝參數(shù)對(duì)（Ti,Al）N薄膜力學(xué)性能、表面形貌、組成成分及微觀組織結(jié)構(gòu)的影響規(guī)律，探討（Ti,Al）N薄膜優(yōu)良微觀力學(xué)性能的形成機(jī)理。 本試驗(yàn)制備的（Ti,Al）N薄膜最高硬度可達(dá)48GPa，彈性模量達(dá)到430 Gpa，最佳膜/基界面結(jié)合強(qiáng)度達(dá)到40N。通過EDS、XRD和XPS綜合分析，薄膜主要相組成為Ti3AlN和非晶態(tài)AlN。Al原子固溶在TiN晶格中，引起晶粒尺寸

3、的減小和應(yīng)力狀態(tài)的改變，同時(shí)彌散存在的非晶態(tài)AlN相是（Ti,Al）N薄膜具有優(yōu)良力學(xué)性能的主要原因。 氮?dú)夥謮?、基體偏壓對(duì)（Ti,Al）N薄膜的微觀力學(xué)性能、成分結(jié)構(gòu)等均有較大的影響。隨著氮?dú)夥謮旱脑龃?，薄膜厚度隨之降低，納米硬度逐漸增大，到達(dá)最大值后稍有減小。薄膜擇優(yōu)取向隨氮?dú)夥謮河休^明顯的變化，氮?dú)夥謮涸龃?，?11）取向逐漸減弱，（220）和（311）取向逐漸增強(qiáng)，并且晶粒尺寸逐漸細(xì)化。氮?dú)夥謮狠^大時(shí)，薄膜內(nèi)（Ti+Al