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文檔簡介
1、在微光探測成像技術(shù)領域,基于單光子APD響應的光子計數(shù)技術(shù)近年來得到了長足的發(fā)展,單光子計數(shù)檢測以其高靈敏度、高信噪比和時間穩(wěn)定性好等特點,在激光雷達、光譜測量、放射探測和量子秘鑰分配等諸多領域獲得了廣泛的應用。但隨著APD陣列規(guī)模、探測率和檢測靈敏度等指標的不斷提高,APD陣列的非均勻性、寄生效應和噪聲干擾等非理想因素對電路的負面影響越來越嚴重,與之相配套的ROIC讀出電路的復雜度和成本也急劇增加,嚴重限制了大規(guī)模APD陣列的應用。<
2、br> 本文設計了一種基于被動采樣模式的數(shù)字式光子計數(shù)讀出電路,可與8×1GM-APD陣列混合集成,實現(xiàn)對寬動態(tài)范圍分布的光子計數(shù)。論文首先對電暈放電光子檢測原理和光子計數(shù)檢測技術(shù)進行闡述,為實現(xiàn)系統(tǒng)探測率與量程、功耗之間的平衡,綜合考慮設計指標需求和現(xiàn)有各類系統(tǒng)架構(gòu)的特點,提出了一種針對隨機光子檢測應用的被動式采樣系統(tǒng)架構(gòu),并完成了系統(tǒng)工作時序和工作模式設計。其次,采用Modelsim仿真平臺完成了系統(tǒng)原型方案的可行性驗證。在此基礎
3、上,完成模塊電路設計和像素陣列布局。最后,結(jié)合芯片可測性設計要求,完成了完整ROIC系統(tǒng)的電路和版圖設計。
采用GSMC0.18μm CMOS工藝并通過cadence EDA工具進行芯片電路前仿和關鍵模塊電路后仿,完成MPW芯片制備和測試驗證。本文所設計的讀出電路工作電壓為1.8V/5V,分別為數(shù)字電路和模擬接口電路供電,陣列規(guī)模8×1,像素面積60μm×85μm。芯片測試結(jié)果表明,ROIC系統(tǒng)各模塊功能正常,系統(tǒng)的一致性達到
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