表面微結構對界面潤濕特性的影響研究.pdf

1、液體在固體表面潤濕性的研究是制備超疏水表面的理論基礎，因具有良好的應用前景而受到廣泛的關注。目前，人們對固液接觸潤濕性的研究多集中于微結構參數變化對潤濕狀態(tài)的影響，且沒有形成較為統一的理論方法。本文在考慮了接觸線線張力的基礎上，結合微結構其他特征參數對固液接觸表面的潤濕性進行了研究。
　　本文首先分析了接觸線線張力在固液接觸潤濕中的重要性，并提出了類圓度的概念，得出接觸線上線張力對固液接觸時能量變化的影響。對微結構相關參數進行研究

2、，得出參數變化對固液接觸時接觸角和潤濕性轉變的影響規(guī)律。推導出考慮線張力的接觸角預測方程。
　　利用L-edit設計不同微結構的形貌和尺寸用于光刻掩膜版的制作。利用等離子刻蝕機在硅表面加工所設計的形貌和特征尺寸，并在部分微結構表面形成一層C4F8鈍化膜用以后續(xù)實驗的對比分析。利用激光共聚焦顯微鏡對所加工表面的微結構形貌和特征尺寸進行觀察測量，為實驗結果分析提供參考。
　　對所制備出的表面測景10μl液滴在其上的接觸角，發(fā)現微