2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
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文檔簡介

1、ZnO(氧化鋅)是一種新型的在光電探測領(lǐng)域具有很大潛力的直接帶隙半導(dǎo)體材料,禁帶寬度為3.37eV,計算可知其對應(yīng)波長在近紫外區(qū)域,可見光波段透明。具有抗輻射性能優(yōu)秀、熱穩(wěn)定性能好、無毒無污染、原料豐富、禁帶寬度可調(diào)等諸多優(yōu)點,目前來說,雖然國際范圍內(nèi)的研究者們已經(jīng)通過 P-MBE(等離子輔助分子束外延)、PLD(激光脈沖沉積)等技術(shù)制備了性能較好的 ZnO紫外光電器件,但仍存在一些需要更加深入研究的問題,例如 p型導(dǎo)電的機理、穩(wěn)定且具

2、有較高空穴濃度和遷移率p型薄膜的制備工藝、摻雜技術(shù)等深入研究。
  本文采用“兩步法”來制備氮摻雜的氧化鋅薄膜,首先利用射頻反應(yīng)磁控濺射技術(shù),以Zn為靶材,N2為反應(yīng)氣體,在石英襯底上沉積Zn3N2(氮化鋅)薄膜,接著在管式爐中高溫氧化,將 Zn3N2轉(zhuǎn)變?yōu)?ZnO,通過控制氧化的進程來達到制備ZnO:N的目的。這種方法工藝較為簡單,并且在一定程度上提高了N的固溶度。
  我們研究了射頻反應(yīng)磁控濺射中,氮氬分壓、濺射功率和襯

3、底溫度對Zn3N2薄膜沉積的影響。得出結(jié)論,在氮氬分壓為2:1、濺射功率80W、襯底溫度200℃條件下能制備出形貌較好,成膜均勻的Zn3N2薄膜。
  接著將 Zn3N2薄膜放入管式爐中,在不同溫度下氧化使其轉(zhuǎn)變?yōu)?ZnO:N,我們利用SEM(掃描電子顯微鏡)、XRD(X射線衍射)、UV-Vis(紫外-可見分光光度法)等技術(shù)手段對ZnO:N薄膜進行表征,得出結(jié)論,在氧化溫度為700℃、氧化時間3小時的條件下,ZnO:N薄膜呈良好的

4、c軸擇優(yōu)取向生長,晶體中缺陷較少,可見光波段透射率在90%,而在紫外波段具有強烈的吸收,擬合計算得出其光學(xué)禁帶寬度約為3.55eV。空穴濃度為1.6×1015cm-3,遷移率為0.3cm2/Vs。
  最后通過在ZnO:N薄膜上濺射 Cu叉指電極將其制備成MSM結(jié)構(gòu)的紫外光電導(dǎo)探測器,600℃退火后通過I-V測試表明金屬和薄膜形成了較好的歐姆接觸。器件暗電流為13.4mA,以254nm的紫外汞燈為光源,測得其光電流為32.2mA,

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