激光陀螺反射鏡基片相關檢測技術研究.pdf

1、超低損耗反射鏡足影響激光陀螺性能的關鍵元件之一，為了實現反射鏡的低損耗，首先要加工出具有超光滑表面的反射鏡基片。超光滑表面的檢測與評價技術在工藝技術中的作用越來越突出和重要。反射鏡基片超光滑表面質量檢測主要包括：表面輪廓檢測、表面疵病檢測、表面亞表層損傷檢測等三個方面。本文研究的重點是反射鏡基片表面輪廓檢測技術，主要包括以下兩個方面的內容：
　　 ㈠反射鏡基片表面微觀形貌的檢測技術。研究空間波長與表面微觀形貌的各種評價參數(如R

2、MS、PSD、波紋度等)的關系，并進行表面粗糙度常用評價參數(RMS、PSD等)的適用性研究；同時對不同工藝方法所形成的表面微觀形貌特征進行分析。
　　 ㈡球面反射鏡基片表面輪廓和曲率半徑檢測技術。在表面微觀形貌特征研究的基礎上分析球面鏡基片表面輪廓的特征，并探討了導致球面鏡基片曲率半徑測試前后不一致的主要原因。通過對大量超光滑反射鏡基片表面檢測參數的研究工作，得出如下結論：①針對反射鏡基片表面輪廓中面形、波紋度和粗糙度的空間波