硅納米結構制備及其在傳感器件上的應用.pdf

1、氣體傳感器由于可以檢測氫氣、氨氣等易燃易爆、有毒氣體，而被廣泛應用。硅納米線是新型的一維半導體材料，在光學、電學上有其特殊的性質，與普通硅材料相比，它的光學特性好、化學性質活潑，在實際應用中存在較為明顯的優(yōu)勢。因此，基于硅納米結構的氣體傳感器，具有非常好的應用前景，逐漸受到一些科研學者的關注。
　　生長硅納米結構的方法有：激光燒蝕法，模板法，化學氣相沉積法(CVD)，熱蒸發(fā)法，溶液法等等。本文使用高溫管式爐，采用化學氣相輸運方法在

2、藍寶石襯底上生長了高密度的硅納米結構膜，互相交織的硅納米棒構成了這種硅納米結構膜，納米棒長度可達到微米量級，直徑約為100nm。通過掃描電子顯微鏡(SEM)、X射線能譜儀（EDS）等方法對硅納米結構膜形貌的表征結果，分析了催化劑厚度、襯底位置對制備硅納米結構膜的影響。當金層厚度相對厚時，很難長成硅納米結構膜；當金層為10nm左右時，利于硅納米結構膜的生長。通過SEM圖像，得出襯底的擺放位置不同，形成的硅納米結構膜的形貌有所不同。通過ED