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1、該論文從化學(xué)氣相沉積(CVD)技術(shù)的發(fā)展出發(fā),研究了氣溶膠CVD(AACVD)這一新穎CVD技術(shù)的發(fā)展與應(yīng)用,AACVD是利用微米或亞微米級的液體小霧滴的迅速揮發(fā)分解,然后在加熱的固體表面形成薄膜的,它不需要高真空,設(shè)備簡單、成本低、生長速率快,是制備多組分氧化物薄膜(如超導(dǎo)材料,集成電路中的材料,燃料電池組件等)的優(yōu)良技術(shù).固體氧化物燃料電池(SOFC)具有發(fā)電效率高、燃料適應(yīng)范圍廣、無污染、無腐蝕等優(yōu)點,被譽為21世紀(jì)的綠色能源,而
2、實現(xiàn)中溫化是其商業(yè)化的必由之路,各組件的薄膜化又是其中溫化的關(guān)鍵.該文利用AACVD制備了其中的關(guān)鍵材料:YSZ (Y<,2>O<,3>穩(wěn)定的ZrO<,2>)、YDC(Y<,2>O<,3>摻雜的CeO<,2>)和GDC(Y<,2>O<,3>摻雜的CeO<,2>)電解質(zhì)薄膜,突出展現(xiàn)了AACVD在這一領(lǐng)域的應(yīng)用前景.同時,還研究了原料的選擇、制備,AACVD設(shè)備的設(shè)計、組裝,薄膜生長動力學(xué),生長機制、形貌模型,薄膜性能測試等.以期使這一技
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