SCB點(diǎn)火技術(shù)中等離子體的電子密度的測(cè)量.pdf

1、本論文對(duì)半導(dǎo)體橋(SCB)點(diǎn)火技術(shù)中等離子體的電子密度，進(jìn)行了深入系統(tǒng)的研究，采用三個(gè)不同的測(cè)試方法，分別測(cè)量了SCB等離子體的電子密度，并討論了測(cè)試環(huán)境對(duì)測(cè)定結(jié)果的影響。具體研究如下： (1)利用Acton Spectrapro．2750型雙光柵光譜儀，在局部熱力學(xué)平衡條件下，用Al I 394.40nm譜線Stark展寬法，測(cè)量了SCB等離子體的電子密度，電子密度的變化范圍為4.32×10<'16>cm<'-3>-0.89×

2、10<'16>cm<'-3>，并得到了電子密度隨時(shí)間的變化規(guī)律； (2)利用Saha方程法理論，根據(jù)在SCB等離子體發(fā)射光譜研究中發(fā)現(xiàn)的譜線Si I 390.55nm和Si Ⅱ 413.09nm，設(shè)計(jì)并完成了Saha方程法測(cè)量系統(tǒng)。系統(tǒng)的時(shí)間分辨率達(dá)到0.1μs，解決了國(guó)內(nèi)現(xiàn)有的多通道光學(xué)分析儀(OMA)測(cè)量SCB等離子體的電子密度時(shí)，時(shí)間分辨率不夠的問題； (3)利用Saha方程法測(cè)量系統(tǒng)，在不同的能量輸入下，對(duì)兩種不

3、同的SCB(陶瓷塞和塑料塞)產(chǎn)生的等離子體的電子密度，進(jìn)行了測(cè)試和討論。該系統(tǒng)測(cè)量的電子密度與A1 I 394.40nm譜線Stark展寬法的結(jié)果在同一數(shù)量級(jí)上，均為10<'15>cm-10<'16>cm<'-3>，并且變化規(guī)律相同，實(shí)現(xiàn)了兩種測(cè)量方法的相互驗(yàn)證； (4)在不同能量輸入下，利用壓力傳感器(CY-YD-205)測(cè)量了陶瓷塞SCB在一定體積密閉容器內(nèi)產(chǎn)生的壓力；推導(dǎo)了適合SCB等離子體的壓力方程，并建立了壓力和電子密