位相測量輪廓術(shù)中相移誤差的校正算法.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、該文的重點在于提出一種新的隨機相移誤差的校正算法,在傳統(tǒng)五步相移的基礎(chǔ)上不需要求解相位分布,通過合理的近似處理可以直接求解相移過程中存在的隨機相移誤差,在保證精度的情況下,能大大減少迭代次數(shù)和計算量.一般在相移誤差不大的情況下(不超過5度)通過一次處理就可較準確的求出各幅干涉圖的相移量.如相移誤差較大,或者為進一步提高精度,也可進行多次迭代.該文推導(dǎo)了新算法的計算公式,詳細說明了隨機相移誤差的求解過程,給出了計算機模擬實驗的結(jié)果.并且通

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