圓柱輪廓誤差分離及其測(cè)量電路系統(tǒng).pdf_第1頁(yè)
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1、 現(xiàn)代工業(yè)技術(shù)，特別是國(guó)防尖端工業(yè)技術(shù)的不斷發(fā)展，對(duì)回轉(zhuǎn)體零件的加工精度要求越來(lái)越高，這就要求有超精密的圓柱輪廓測(cè)量手段與精密加工相適應(yīng)。本課題針對(duì)以上問(wèn)題并結(jié)合“基準(zhǔn)型圓柱度儀及其相關(guān)技術(shù)”這一研究任務(wù)，研制了用于圓柱輪廓表面形貌測(cè)量的超精密電感位移傳感器調(diào)理電路系統(tǒng)。研究了基于單轉(zhuǎn)位法空間回轉(zhuǎn)誤差分離技術(shù)及基于相關(guān)分析理論的圓柱輪廓采樣技術(shù)。 實(shí)驗(yàn)與分析表明：?jiǎn)无D(zhuǎn)位空間回轉(zhuǎn)誤差分離技術(shù)可通過(guò)選擇適當(dāng)?shù)霓D(zhuǎn)位角度避免傳統(tǒng)誤

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