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1、河北師范大學(xué)碩士學(xué)位論文氮離子在射頻電極的能量分布及電子碰撞率數(shù)值模擬研究姓名:趙海濤申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別:碩士專(zhuān)業(yè):凝聚態(tài)物理指導(dǎo)教師:張連珠20100406IVAbstractIncapacitivecouplingrfglowdisgeofnitrogenenergyangledistributionofionsatelectrodeisnumericallysimulatedbyusingtheofPIC–MCCmethod.Atthe
2、sametimewesimulatedthedissociationrateionizationrateexcitationratedissociativeionizationrateofelectronatallthedisgeroom.Throughtheprocessofsimulationwenotonlyconsideredtheallkindsofcollidesofelectronnitrogenbutalsoionsni
3、tron.Sincethevalueofsectionofallkindsofcollideshasbigdiffrenceweonlyconsiderdtheelasticcollisionsgeexchangecollisionsofionsnitrogen.Igningthecollisionsofelectronicion.Specificwkshownbelow:1EstablishedthePICMCChybridmodel
4、ofthenitrogenrfplasmadisgeinthefieldofgedparticlemovementtheselfconsistentwaybythePICtheprocessofcollisionbetweenparticlesbyMCCmethod.usingFtranlanguageamodelofcombiningthePICMCCwaswritedtosimulatetheprocessofnitrogenrfd
5、isge.2Thecalculationofnitrogenrfplasmaenergyangledistributionofionsattheelectrodeitsdistributionwithdisgepressurevoltageamplitudevariation.3Calculatingthenitrogenrfplasmadisgeinthespaceofdissociationrateelectronicionizat
6、ionratesthedistributionofdissociationratealsosimulatedwiththedisgepressurethechangesofthevoltageamplitude.4Indertoensuretheaccuracyoftheprocedurethenitrogenelectronicenergydistributionofexperimentalresultswerecomparedthe
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