大口徑光學拋物面面形檢測技術的研究.pdf

1、光學制造技術、精密機械加工、計算機輔助設計裝調技術的發(fā)展，使非球面的制造和應用都有很大的改善。但是非球面元件在加工和檢測上的困難，制約了非球面在光學系統中的廣泛應用。 本研究針對非球面度為0.2λ的大口徑拋物面反射鏡，從非零位干涉檢測角度出發(fā)，首先通過計算，確定視頻探測器的最大分辨率，得到ZYGO干涉儀直接檢測非球面的使用范圍。然后通過編制Zernike多項式系數計算程序，并輸入所測非球面的數學模型，計算理想波面函數。通過ZYG

2、O干涉儀直接檢測淺度拋物面，對獲得的實際波面數據與用編程計算得到的理想波面數據進行波面相減，得到拋物鏡的實際面型誤差。這種方法不需要額外的零位補償器的加工和檢測，降低了檢測成本、縮短了檢測時間，在測量范圍內能對各種非球面達到直接檢測的目的。在用干涉法檢測拋物面時，由于光線不是按原路返回，所以在測量過程中，光路各種透鏡不同位置的面形偏差也不可避免地混合在測量結果中。結合絕對檢測法對拋物面作進一步精確測量，再進行波面相減，得到拋物鏡的絕對面