NSRL計量線高次諧波抑制和抑制鏡對的設計.pdf

1、同步輻射光源以其優(yōu)異的特性而成為當今被廣泛應用的極紫外和軟X射線光源,它是一種連續(xù)光譜,通過光束線中的單色器分光，獲得實驗站所需的單色光。極紫外和軟X射線通常使用光柵單色器分光，因而不可避免地含有高次諧波。高次諧波的存在嚴重影響光源、探測器和光學元件性能的定標精度，諧波會干擾實驗數據因而誤差增大，甚而導致錯誤的實驗結論。因此，有效的抑制單色光的高次諧波成分，提高光譜純度，對提高光學元件性能的測量精確度和探測器定標精度具有重要意義。

2、>　　 光的偏振特性是同步輻射光源又一優(yōu)異特性，利用同步輻射軟X射線的偏振特性已經在生物、化學、物理、材料、信息科學及計量科學等領域開展了廣泛的研究。研究偏振光學元件時，如何獲得偏振度較高的單色光顯得尤為重要。
　　 本文的主要工作分為如下幾個方面：
　　 首先在5-40nm波段選用高線密度透射光柵(3300l/mm)定量的分析了高次諧波的分布，目前在該短波段有合適的濾片來抑制高次諧波，而且濾片濾波也是一種簡單有效的高

3、次諧波抑制方法，所以在該波段選擇合適的濾片來抑制高次諧波并定量的分析了添加濾片后的高次諧波的分布。分別通過積分曲線定量的分析了高次諧波占基波的比例。其次對于40-115nm波段目前沒有合適的濾片濾波，計量線站對該波段的高次諧波的抑制目前還是空白，一種即能提高光源的偏振效率又能抑制高次諧波的方法就顯得非常重要。通過軟件計算的方法確定在長波段可以通過Au_Si_Au三反射式偏振器的組合不需要在光路當中另外添加濾片就能在該波段有效抑制高次諧波