數字散斑干涉術測物面形變.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本文研究了用數字散斑干涉術(DSPI)測量物面形變。DSPI綜合了散斑干涉技術、精密測量技術、計算機圖像處理技術，測量誤差小、精度高，可用于檢測微米量級的形變?；贒SPI原理，設計了由泰曼-格林系統(tǒng)、馬赫-曾德系統(tǒng)及微機控制的實時散斑系統(tǒng)組成的三種實驗裝置，并用這三種實驗裝置進行粗糙物體表面的形變測量。為實現散斑干涉術的數字化，本文利用CCD接收散斑干涉圖并將其輸入計算機進行數字圖像處理。根據散斑干涉圖高噪聲的特點，采用相減模式得到包

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