顯微散斑干涉系統(tǒng)的設(shè)計.pdf

1、電子散斑干涉技術(shù)簡稱ESPI(Electronic Speckle Pattern Interferometry)，是以激光技術(shù)、視頻技術(shù)、計算機圖象處理技術(shù)、全息干涉和散斑干涉技術(shù)等相結(jié)合的一種現(xiàn)代光學測量技術(shù)，被廣泛應(yīng)用于無損檢測(NDT)，光學粗糙表面位移，變形測量，振動分析等領(lǐng)域。它具有全場、非接觸、高精度、高靈敏度、抗干擾能力強和工作穩(wěn)定可靠等優(yōu)點，一直受到人們普遍關(guān)注。電子技術(shù)、計算機技術(shù)、激光技術(shù)的發(fā)展極大地促使了散斑計量

2、技術(shù)的發(fā)展，使散斑計量技術(shù)向?qū)崟r、高速及自動化方向發(fā)展并被廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)中。在研究和生產(chǎn)領(lǐng)域，微結(jié)構(gòu)的測試都起著十分重要的作用。目前眾多測試方法大多針對光學平滑表面，這給微結(jié)構(gòu)的科學研究和生產(chǎn)測試等應(yīng)用都帶來了很大限制。
　　 本文在充分調(diào)研的基礎(chǔ)上，設(shè)計并組建了結(jié)合Linnik顯微干涉結(jié)構(gòu)的顯微散斑干涉測試系統(tǒng)，通過反射率較高表面和散射表面的形貌測量對系統(tǒng)的性能進行驗證，并對散射表面的變形進行了初步的測試研究。本文的主要工

3、作包括以下幾個方面：
　　 ⑴對國內(nèi)外MEMS測試方法和散斑測試技術(shù)做出充分的調(diào)研，著重研究了電子散斑干涉技術(shù)在微結(jié)構(gòu)幾何量測量尤其是表面變形方面的應(yīng)用；
　　 ⑵設(shè)計并組建了新的顯微散斑干涉系統(tǒng)，將Linnik顯微干涉結(jié)構(gòu)布置在一個垂直于光學平臺的水平面內(nèi)，消除了因被測表面和參考表面的旋轉(zhuǎn)帶來的系統(tǒng)誤差；
　　 ⑶完成了對表面反射率較高和表面散射的微結(jié)構(gòu)的測量，進行系統(tǒng)的調(diào)試和評價實驗，得到較好的表面形貌測量實