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1、中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)博士學(xué)位論文全息離子束刻蝕真空紫外及軟X射線衍射光柵研究姓名:徐向東申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別:博士專業(yè):核技術(shù)及應(yīng)用指導(dǎo)教師:張?jiān)饰涓到B軍2001.4.1線空比~1。然后用O,反應(yīng)離子束刻蝕對(duì)光刻膠進(jìn)行灰化處理,以獲得所要求的4:6線空比。利用上述工藝制作出線空比4:6、槽深近70m、有效刻劃面積6020mm2的200凸,mmLanlinar光柵,它將用于二期工程新建的光譜輻射基準(zhǔn)和計(jì)量光束線站球面光柵單色儀中。4)在軟X射線自支撐
2、透射光柵的研制中,首先對(duì)美國MIT空間研究中心的x射線透射光柵制作工藝發(fā)展過程進(jìn)行了詳細(xì)的介紹,以說明高質(zhì)量的X射線透射光柵制作需要深入細(xì)致的研究和長(zhǎng)期工作的積累。對(duì)全息一離子束刻蝕軟x射線自支撐透射光柵制作工藝進(jìn)行了系統(tǒng)的實(shí)驗(yàn)研究。分析了高線密度光刻膠光柵圖形產(chǎn)生的全息曝光、顯影過程中的影響因素,發(fā)現(xiàn)光學(xué)平臺(tái)上反射鏡和記錄的位置對(duì)光柵的襯度、線條的完整性影響很大。對(duì)支撐結(jié)構(gòu)制作過程中的UV光刻、電鍍等影響光柵質(zhì)量的關(guān)鍵工藝進(jìn)行了詳細(xì)的
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