藍(lán)寶石低能離子束刻蝕納米微結(jié)構(gòu)及光學(xué)性能研究.pdf

1、納米材料有著諸多的優(yōu)良特性，隨著科技的發(fā)展，各國(guó)對(duì)于納米材料的研究更加深入，納米材料的發(fā)展也更加迅猛。所以本文的核心技術(shù)就是可以有效的形成物體表面納米結(jié)構(gòu)的低能離子束刻蝕技術(shù)。本文的刻蝕對(duì)象為藍(lán)寶石晶體，對(duì)藍(lán)寶石晶體的研究是因?yàn)槠涔鈱W(xué)、化學(xué)、機(jī)械等等各個(gè)方面的廣泛應(yīng)用，現(xiàn)如今更是軍用光電設(shè)備中不可或缺的材料。
　　本文采用微波回旋共振離子源，通過(guò)改變刻蝕的入射能量、入射角度、刻蝕時(shí)間以及離子束束流這些因素刻蝕藍(lán)寶石樣片。針對(duì)刻蝕后

2、的藍(lán)寶石樣片，用Taylor Sure CCI2000非接觸式表面測(cè)量?jī)x測(cè)量表面粗糙度、分光光度計(jì)測(cè)量透射率以及用德國(guó)Bruker公司生產(chǎn)的Multimode8原子力顯微鏡測(cè)量表面納米結(jié)構(gòu)。
　　對(duì)測(cè)量后的三方面數(shù)據(jù)進(jìn)行比對(duì)、分析，得出結(jié)論如下:
　　1)當(dāng)刻蝕時(shí)間、離子束流以及刻蝕角度固定的情況下，刻蝕后的藍(lán)寶石表面透射率會(huì)隨著入射能量的增加而變大，但入射能量的改變對(duì)樣品表面納米結(jié)構(gòu)影響很小。
　　2)當(dāng)入射能量、離