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文檔簡介
1、本文利用脈沖電沉積法,以FeSO4·7H2O和H2PtCl6·6H2O作為Fe2+源和Pt4+源,無水Na2SO4為導電鹽,溶劑為二次去離子水,分別制備出了FePt共沉積薄膜和Fe/Pt多層膜。利用x射線衍射儀(XRD)、掃描電子顯微鏡(SEM)、能譜(EDX)和振動樣品磁強計(VSM)對熱處理前后的FePt共沉積薄膜和Fe/Pt多層膜微觀形貌和磁性能進行了表征。主要研究內容如下:
⑴以純Cu片為基體,在沉積電位在-1V到
2、-6V之間變化的情況下,制備出了FePt共沉積薄膜。電位變的越負,共沉積薄膜中Fe的含量增加,同時Pt的含量相對減少,在-4.7V時制備出了Fe/Pt原子比接近于1:1的共沉積薄膜,而且,從薄膜的表面形貌可知,薄膜的表面顆粒大小與沉積電位有關。-4.7V時的共沉積薄膜表面顆粒較為均勻致密,薄膜表面平整,但薄膜中的O含量也達到最大值,而富Fe的薄膜與富Pt的薄膜中的O含量都很少。將沉積電位-4.7V的FePt共沉積薄膜在550℃氫氣氣氛中
3、熱處理30分鐘后,VSM測試結果表明,矯頑力從2.19kA/m增加到了12.5kA/m,飽和磁化強度由408.6kA/m增大到465.3kA/m。
⑵由制備FePt共沉積薄膜的結果可知,富Fe層沉積電位選擇-4V,-5V,-6V,富Pt層沉積電位選擇-2V,-3V,-4V,然后使富Fe層和富Pt層交替沉積制備出Fe/Pt多層膜。本文研究了沉積電位,沉積時間,沉積基體等Fe/Pt多層膜制備中的影響因素。結果表明:在固定富Pt
4、層沉積電位,只變換富Fe層沉積電位或固定富Fe層沉積電位,只變換富Pt層沉積電位時,由于電流密度的不同,薄膜的表面形貌都有較明顯的差別。組分上顯示出一定的規(guī)律性,對組分較理想的Fe/Pt多層膜在550℃純氫氣氣氛中熱處理30min,發(fā)現(xiàn)薄膜中的O被還原,主要成分Fe和Pt的含量都有不同程度的增加,表面顆粒長大,矯頑力與飽和磁化強度都大幅提高。
⑶固定沉積電位,SEM斷層顯示Fe/Pt多層膜(t.2V=12min,t-6V=
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