一種模塊化CMOS圖像傳感器高溫動(dòng)態(tài)老煉裝置的設(shè)計(jì)研究.pdf

1、隨著半導(dǎo)體工藝技術(shù)的不斷提高，CMOS圖像傳感器在固體傳感器中的優(yōu)勢(shì)日益彰顯，使其應(yīng)用領(lǐng)域不斷拓寬。從日常生活中隨處可見的智能手機(jī)、數(shù)碼相機(jī)到醫(yī)療設(shè)備、工業(yè)監(jiān)控的攝像頭，再到星敏感器、航海航天等空間科學(xué)，都有 CMOS圖像傳感器的身影。在 CMOS圖像傳感器的應(yīng)用市場(chǎng)在高可靠領(lǐng)域中不斷的同時(shí)，對(duì)器件可靠性規(guī)定也在不斷嚴(yán)苛。然而在生產(chǎn)、制造過程中由于結(jié)構(gòu)、工藝等因素使 CMOS圖像傳感器不可避免地存在著缺陷。為確保器件能夠在軍事、航天等對(duì)

2、可靠性要求極高的領(lǐng)域投入使用，必須先對(duì)器件可靠性進(jìn)行評(píng)估。老煉是元器件評(píng)估的重要方法。因此，CMOS圖像傳感器老煉裝置的設(shè)計(jì)研究是很有必要的。
　　本文以V1TIX30圖像傳感器動(dòng)態(tài)老煉試驗(yàn)為目的，設(shè)計(jì)了一種模塊化CMOS圖像傳感器高溫動(dòng)態(tài)老煉裝置，它具有可實(shí)時(shí)監(jiān)控、老煉效率高、應(yīng)用靈活、穩(wěn)定可靠等優(yōu)點(diǎn)。主要研究?jī)?nèi)容如下：
　　集成電路可靠性與老化基礎(chǔ)理論。
　　老煉的基本理論。
　　CMOS圖像傳感器的基本理論