基于MEMS的壓力傳感器研制.pdf

1、機(jī)油壓力是發(fā)動機(jī)正常工作的一個重要參數(shù),一般采用機(jī)油壓力傳感器進(jìn)行檢測。本文結(jié)合企業(yè)的需求,利用具有靈敏度高、動態(tài)響應(yīng)好、精度高、體積小、價格便宜等優(yōu)點(diǎn)的MEMS芯片研制MEMS壓力傳感器,用于測量柴油發(fā)動機(jī)機(jī)油潤滑系統(tǒng)壓力,替代機(jī)械式壓力傳感器,驅(qū)動動圈式指針壓力表顯示壓力值,當(dāng)機(jī)油壓力不足時,點(diǎn)亮壓力報警燈。
　　本文首先深入分析了國內(nèi)外MEMS技術(shù)研宄現(xiàn)狀,依據(jù)機(jī)油壓力傳感器的技術(shù)參數(shù)及指標(biāo),確定了機(jī)油壓力傳感器的整體設(shè)計(jì)方

2、案,并對傳感器的主要電路部分進(jìn)行詳細(xì)設(shè)計(jì)。針對MEMS芯片的零點(diǎn)漂移和溫度漂移特性,深入分析了漂移的產(chǎn)生原因以及常見的補(bǔ)償方式的特點(diǎn),提出了相應(yīng)的方案,進(jìn)而對軟件標(biāo)定和溫度補(bǔ)償進(jìn)行詳細(xì)設(shè)計(jì)。最后論文搭建了傳感器樣機(jī)的測試臺架,開展多項(xiàng)傳感器性能測試,并對試驗(yàn)數(shù)據(jù)進(jìn)行分析和統(tǒng)計(jì)。試驗(yàn)結(jié)果表明:研制的傳感器能夠達(dá)到所需的參數(shù)指標(biāo),其簡單易行的標(biāo)定和補(bǔ)償算法是一種有效的標(biāo)定補(bǔ)償方法,能滿足大批量生產(chǎn)的需求,對產(chǎn)品的系列化和類似產(chǎn)品的設(shè)計(jì)制造也