RF MEMS開關可靠性研究.pdf

1、RF MEMS開關由于其優(yōu)異的隔離度和插入損耗，良好的線性度，在無線通訊、相控雷達方面有著廣泛的應用。RF MEMS開關的可靠性是產業(yè)化的關鍵，本文針對直接接觸式和電容式兩種開關的可靠性進行分析研究，為RF MEMS器件更進一步的發(fā)展提供技術的儲備。
　　在分析直接接觸式開關的電磁模型與機械模型的基礎上，重點研究了影響接觸式開關可靠性的接觸電阻及功率等因素，通過 Intellisuite軟件分析了結構尺寸的變化對 MEMS開關吸合

2、電壓、開關時間、回復力和接觸力的影響。針對驅動電壓較高的問題，提出通過改變梁的上下層 Si3N4厚度，減小上翹彎曲角的方法降低驅動電壓，此方法不需要改變開關結構，在有效降低驅動電壓的同時開關的接觸力與回復力下降較少，開關具有良好的抗粘附能力，仿真結果表明可有效提高開關可靠性。
　　在分析、研究RF MEMS電容式開關可靠性失效機理的基礎上，建立、分析了充電實驗模型，根據RF MEMS開關的SEM數據，對開關的失效進行了分類，給出了