周期性介質(zhì)層結(jié)構(gòu)RF-MEMS開(kāi)關(guān)設(shè)計(jì).pdf

1、隨著通信技術(shù)的發(fā)展，傳統(tǒng)的開(kāi)關(guān)不能滿(mǎn)足人們?nèi)找嬖鲩L(zhǎng)的需求，此時(shí)，射頻微機(jī)電系統(tǒng)開(kāi)關(guān)映入人們的眼簾，RF-MEMS開(kāi)關(guān)相對(duì)于傳統(tǒng)開(kāi)關(guān)的巨大優(yōu)勢(shì)，使人們認(rèn)識(shí)到進(jìn)一步研究 RF-MEMS開(kāi)關(guān)性能的必要性。但現(xiàn)有的RF-MEMS開(kāi)關(guān)由于介質(zhì)層結(jié)構(gòu)單一，存在回波損耗較大、傳輸效率低等問(wèn)題，阻礙了RF-MEMS開(kāi)關(guān)的進(jìn)一步發(fā)展。因此本論文基于周期性的介質(zhì)層結(jié)構(gòu)，設(shè)計(jì)了一種新型 RF-MEMS開(kāi)關(guān)，該開(kāi)關(guān)具有傳輸效率高等優(yōu)點(diǎn)，能夠滿(mǎn)足實(shí)際應(yīng)用的需要。

2、
　　本文首先介紹了RF-MEMS開(kāi)關(guān)的基本原理，主要的技術(shù)指標(biāo)，并給出了周期性介質(zhì)層結(jié)構(gòu) RF-MEMS開(kāi)關(guān)的主要制備流程。然后利用 CST軟件仿真分析射頻開(kāi)關(guān)使用不同介質(zhì)層材料及不同結(jié)構(gòu)時(shí)，開(kāi)關(guān)的信號(hào)傳輸效率。并對(duì)周期性介質(zhì)層結(jié)構(gòu) RF-MEMS開(kāi)關(guān)主要性能參數(shù)進(jìn)行建模，建立開(kāi)啟時(shí)間及下落速度模型，運(yùn)用 Matlab研究開(kāi)關(guān)性能結(jié)構(gòu)參數(shù)對(duì)兩種模型的影響，最后建立一維集總電路模型，分析微波性能參數(shù)的影響因素。研究發(fā)現(xiàn)：基于周期性