MEMS多晶硅微梁疲勞可靠性機(jī)理研究.pdf

1、MEMS技術(shù)自產(chǎn)生以來,經(jīng)過國內(nèi)外科研人員的共同努力,已經(jīng)有了飛速的發(fā)展,目前已經(jīng)開始逐步邁入產(chǎn)業(yè)化的階段。尤其是MEMS梁結(jié)構(gòu),廣泛應(yīng)用于RF開關(guān),加速度計(jì),微陀螺等產(chǎn)品中,甚至在軍工裝備中,也越來越多的出現(xiàn)MEMS產(chǎn)品。因此,MEMS可靠性研究越發(fā)顯得重要,而疲勞作為可靠性中很關(guān)鍵的分支,直接關(guān)系到產(chǎn)品的壽命和安全,所以對MEMS結(jié)構(gòu)進(jìn)行疲勞可靠性的研究是很重要的。文章分為五個(gè)部分： 第一章緒論主要介紹了可靠性的發(fā)展情況,宏

2、觀疲勞可靠性基礎(chǔ)及MEMS疲勞可靠性概述。 第二章從疲勞可靠性出發(fā),詳細(xì)闡述了MEMS器件的疲勞可靠性相關(guān)基礎(chǔ)知識(shí)和MEMS疲勞可靠性的研究現(xiàn)狀及研究方法,最后還著重討論了振動(dòng)環(huán)境下的疲勞問題,這主要是由于實(shí)驗(yàn)是采用靜電激勵(lì)循環(huán)振動(dòng)的方式施加載荷。 第三章從理論角度分析了雙端固支梁,懸臂梁的諧振頻率,電阻以及吸合電壓這三大物理量,這是疲勞實(shí)驗(yàn)的理論部分,同時(shí)也為后期分析疲勞變化做基礎(chǔ)。 第四章是實(shí)驗(yàn)部分,由實(shí)驗(yàn)思