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文檔簡介
1、隨著微電子技術(shù)的需求和發(fā)展,倒裝芯片技術(shù)在高密度微型化封裝領(lǐng)域得到了快速發(fā)展和廣泛應(yīng)用,而現(xiàn)有的一些倒裝芯片檢測方法存在一定的不足之處。為此,本文研究了主動紅外的倒裝芯片缺陷檢測方法,主要內(nèi)容包括:
1.針對主動紅外無損檢測方法的原理和特點進行研究分析,在倒裝芯片缺陷檢測中施加主動熱激勵并采用紅外檢測方法。使用有限元分析軟件對紅外檢測技術(shù)進行建模仿真,從理論上驗證了該方法的可行性。
2.選擇焊球直徑為500μm的自制
2、樣片進行基于主動紅外的缺陷檢測實驗,通過圖像以及信號處理方法針對紅外熱圖像信號進行處理,并進行定量分析,成功檢測出缺球位置的所在。在此基礎(chǔ)上,選擇焊球直徑為135μm的高密度樣片,由于焊球間距相對較小,噪音干擾更大,因此采用主元熱圖像分析法,分析焊球信號主元并確定缺球位置的所在。
3.針對裂紋式缺陷進行檢測,由于裂紋引起的信號差異較微弱并體現(xiàn)在高頻特征上,因此選用了小波分析方法進行特征提取,同時針對不同類型缺陷采用自組織神經(jīng)網(wǎng)
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