CVD法制備二硫化鉬薄膜及物性研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、二硫化鉬納米薄膜具有與石墨烯類似的結(jié)構(gòu)，且擁有獨(dú)特的光電特性，在新型無機(jī)功能材料應(yīng)用方面具有重要的應(yīng)用意義。
　　本文針對當(dāng)前二硫化鉬納米薄膜在形貌和尺寸調(diào)控方面的困難開展了研究工作。主要研究結(jié)果如下：
　　（1）采用化學(xué)氣相沉積（CVD）法制備多層二硫化鉬薄膜。研究表明通過調(diào)節(jié)反應(yīng)時間可獲得菱形和三角形兩種形貌的二硫化鉬薄膜。菱形薄膜的厚度為115nm，尺寸為15×15μm2，三角形薄膜的厚度12nm、尺寸為5μm2。

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